回音壁模式微谐振腔的设计及其特性与研究.pdfVIP

摘要 回廊耳语模式的微谐振腔设计 及其特性研究 摘 要 mode，WGM)的微谐振腔具有超高的 基于回廊耳语模式(whisperinggallery 品质因数和很小的模式体积，在集成光学、医药、探测等领域均有着重要的研究 价值和应用前景。因此，它一直都是研究的热点。本文从标准的圆形结构出发， 计算和讨论了5种变体结构的硅材料WGM微谐振腔。 本文针对光通信和太赫兹(THz)两个波段，详细阐述了标准的圆盘形结构 基本特性，并得出优化的腔结构。 在光通信波段，通过改变输入、输出波导和微谐振腔的几何形状，本文计算 了5种变体结构的WGM微腔。基于FDTD算法，我们计算了其耦合系数、模 场分布以及品质因数等，得到了～种输入波导弯曲的优化圆盘形结构。对于跑道 形WGM微盘谐振腔的优化结构，其单次耦合系数可达5％，品质因数高于2000。 在THz波段，通过FDTD模拟，本文讨论了大尺寸微盘结构的WGM微谐 振腔。其中，微腔的半径在100“m量级，微腔与传输波导的间距在1pm量级。 这就使得制作工艺上对精度的要求有所降低。分析得知，当工作波长为80．120lxm 1．tm的微腔结构，获得的耦合系数大约为50％；在 时，对于，=150¨m、g=1．0 光通信波段时，厂=2．5¨m、g=0．2¨m的微腔获得的耦合系数约为4％，因此， THz波段大大提高了单次耦合效率。 关键词：WGM微谐振腔，耦合系数，Q值 Vl and of DesignAnalysis ModeMicrocavities ABSTRACT Becauseof factorandsmallmode modes high-Q volume，whisperinggallery areof in as greatimportancemanyapplications，suchoptical (WGMs)microcavities and basic research．Inthis communications，medicine biologydetecting，andphysical kindsofsiliconWGMmicrocavitiesin telecom and thesis，five optical region aredescribedand in finite—difference terahertz(THz)regionanalyzeddetail,byusing time-domain(FDTD)method． discussed．Their Inthis newkindsofWGMmicrocavitiesare thesis，five coupling are field distributionandQfactor coefficients，electric opti