AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量.pdfVIP

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2017-09-02 发布于重庆
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AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量.pdf

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21 5 2010 5 Journal of ptoelectronics Laser Vol. 21 No.5 May 2010 AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量* 1* * 1 1 2 3 罗乐 , 秦娟娟, 孙伟, 方晓东, 严中亚 (1., 230009; 2. , 230031; 3. , 230001) :(PLD)C (DLC) ,3 KeV (AIB)DLC (Raman)X (XPS)AIBDLC ,AIBDLC :AIB 3 2 sp / sp , Ar , O,COC= O COO , :(PLD); (DLC) ; ; (AIB); :TN249 :A :2010 Argonion bombardment toimprove diamondlikecarbon film de posited on mechanical heart valvebypulsed laserdeposition 1* * 1 1 2 3 LUO Le , QING Juanjuan , SUN Wei , FANG Xiaodong , YAN Zhongya ( 1.College of Electronics and Applied Physics, efei University of Technology, efei 230009,China; 2.Anhui In stitute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Science, efei 230031,China; 3.Department of Cardiac Surgery,Anhui Province ospital, efei 230001,China) Abstract:Argon ion bombardment(AIB) is used to improve the diamondlike carbon(DLC) films on the mechanical heart valve madefrom pyrolytic carbon.The DLC film is deposited by the pulsed laser depo sition(PLD).The microstructure of the DLC films is investigatedby the visible Raman spectroscopy and the Xray photoelectron spectroscopy(XPS) before and after AIB,respectively;and the surface of DLC film is observed with microscope before and after AIB,respectively. The experimental results demon strate that the AIB is unable to cause corrugation or desquamation of the DLC films,but it modifies the 3 2 film microstructu