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2005 No. 5 : / / 11
/ /
1 1 1 2
王 伟 , 刘立柱 , 杨 阳 , 雷清泉
( 1. , 150040;
2. , 150040)
: - ( SiO 2) ( Al2O 3) , ,
(PI) / SiO 2/ Al2O3 ,
, S iO2 Al2O 3 , ;
;
: ; ; ; - ;
:TM 215. 3; T Q 323. 7 : A : 1009- 9239( 2005) 05- 0011- 04
The re arationstructure and character of
p p
ol imide/silica/ alumina h brid films
p y y
1 1 1 2
WANG Wei , LIU Li_zhu , YANG Yang , LEI Qing_quan
(1 . M a ter ia ls S cie nce E ng i neer i ng Coll ege , H ar bin Un iv . S ci . T ech , ha r bi n 150040, Ch i na;
2 . E lec tr ica l E lect ron ic E ng in eer i ng Col leg e , H a rbi n Un iv . S ci . T ech ., H ar bi n 150040 , Ch in a )
Abstract: In thi a er, nano ol imide/ ilica/ alumina h brid film are re ared b ol_ el method.
p p p y y p p y g
The tructure, micro_morphology, thermal propertie , and dielectric propertie of the film are
characterized b FTIR, AFM, TGA and reci ion im edance anal zer. The re ult indicate that SiO2
y p p y
and Al O article are well di er ed in PI h brid film with nanometer and there are chemical
2 3 p p y
bond between or anic and inor anic ha e; The thermo_decom o ed tem erature i increa ed after
g g p p p
appending SiO2 and Al2O3 particle ; the dielectric con tant i increa ed with content of inorganic
pha e increa ing.
Ke words: ol imide; ilica; alumina; ol_ el method; h brid film
y p y
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