聚合物双层微悬臂梁传感器光热激励的特性及模拟优化.pdfVIP

2009焦 仪 表 技 术 与 传 感 器 2oo9 第3期 Instrument Technique and Sensor NO．3 聚合物双层微悬臂梁传感器光热激励的特性及模拟优化 白英 良 ，韩 立 (1．中国科学院电工研究所，北京 100080；2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：文中研究了聚合物基双层悬臂梁在光强和温度变化的激励下的挠度特性，并利用建立的数学模型通过采用 Matlab程序进行了模拟和优化。实验得出：在热激励下聚合物(PMMA)悬梁镀金以及悬梁和金属膜厚度比值为0．1时最 优化；在光激励下聚合物悬梁镀铬 以及悬梁和金属膜厚度比值为 0．03时最优化。研究为制作聚合物双层传感器的研制 提供了理论分析和优化设计的基础。 关键词：聚合物基双层微悬臂梁；光热激励；特性研究；仿真优化 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)03—0001—03 PerformanceandOptimization 0fBi-material Polymeric--basedM icro-·cantileverExcitedbyLightandHeat BAIYing—liang一 ，HAN Li (1．InstituteofElectricalEngineering，ChineseAcademyof Sciences，Beijing100080，China； 2．PostgraduateSchool，ChineseAacdemyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：Thebi—metallicmicro-cantileverscanexhibitstaticdefectionasaresultofthermaleffects．Thispaperpresented theperfomr naceofthebiomaterial polymeric—basedcantileverexcitedbythetemperaturena dlight．Theexperimentshowsthatthe optimizationresultof cantileverexcitedbytheheatisthatgoldiscoatedandthethicknessrateis0．1．Andhteoptimizationresult of cna tileverexcitedbythelightisthatchromium iscoatedandthethicknessrateis0．03．Th eresearchappliedthebasisforthe theorynaalysisnadoptimizationoftheinventionofthenovelsensors． Keywords：bi—materialpolymeric-basedmicro—cantilever；lightnadheatexcitation；perfomr anceresearch；simulationandoptimi· zation 0 引言 的光热激励传感器特性进行研究并模拟优化，为该类传感器的 近年来 ，传感器已经应用到生产生活各方面，如 ：火灾探 研制提供理论分析基础。 测、管道漏磁、电流检测等 I3j，在传感器的敏感元件制作方面 1 聚合物基双层微机械悬臂梁的光热激励挠 曲特性研究及仿 也有了进一步的发展。微细加工技术的发展 ，促进了微纳米尺 真优化 度上的工具的应用。例如原子力显微镜上的微悬臂梁被用作 聚合物基双层微