不同气氛下Tl-1223超导薄膜的生长研究.pdfVIP

不同气氛下T1—1223超导薄膜的生长研究 季鲁谢清连张畅张旭周铁戈左涛何明赵新杰方兰 阎少林 (南开大学信息技术科学学院电子信息科学与技术系天津300071) 的转变温度Tc，分别为111K和107K。 关键词n一1223，11—1212，InAlq The ofthe of study growthsuperconducting i12 T1—1223thinfilmsdifferentconditions Ji T T L，XieQL，ZhangC，ZhangX，ZhouG，Zuo He X SL M，ZhaoJ，FangL，Yan of (DepartmentElectronics，NankaiUniversity，Tianjin300071，China) Abstract and ofI1—1223 thinfilmsOn substratesin and Preparationp”p枷eg superconductingLaAl03 02 Ar havebeenstudied．Inat930。CandinArat830。CWe theTI一1223thin atmosphere 02 successfullygot films．In foundthatthe of TI一1223thinfilmsarenotsimilar． differentconditions．Wehave charactersthe Theeritieal Tein andArWerecharacterizedof1llKand temperature02 107K，respectively． Keywords TI一1223，TI一1212，LaAl03 1 引言 近年来，有关Ⅱ系高温超导薄膜的研究已经得到世界上广泛的关注。11系高温超导薄膜凭借着其 较高的转变温度和临界电流密度，以及较低的微波表面电阻(77K，IOGHz)，使得它在微波器件中应用 中有很强的竞争力。T1—2212高温超导薄膜已经在超导滤波器等领域得到了应用，虽然它的转变温度 强度较低，使得它的应用范围只能限制在较低的磁场下。 —2212超导体那么明显HJ。从以上这些优点中，我们可以看到11—1223高温超导薄膜相对于Ⅱ一 2212高温超导薄膜应用范围更广泛，值得更多的关注。 作者简介：季鲁，男，徽电子与固体物理专业博士生，超导电子学研究方向。Emnil：ter吲ee@m衄．mmkai．edu．衄 1 本文报道了T1—1223高温超导薄膜在氧气和氩气环境中的生长情况，对两种环境下11—1223高温 超导薄膜的一些特性进行了对比研究。 2实验 Ba)：ca：cu，Ox非晶先驱薄膜是在环境温度下进行的，衬底不单独加热。首先将基带表面清洗干净，在 通人氩氧混合气的溅射腔内，用气压为3．0P、溅射电压300V、溅射电流100A的条件进行先驱膜的溅 Ba)：Ca：Cu，Ox块材一起放在密封坩塌内，然后在密封石英管内通人氧气或者氩气并加热。放人(11， Bi)(Sr，Ba)：ca2cu，Ox块材主要是用来在坩塌内提供一定的TI：0蒸汽压。 ’ 2．1氧气下的实验 与TI一2212高温超导薄膜制备过程相比，11—1223高温超导薄膜的制备要复杂一些。国外曾经介 而在我们的实验中，处在这个温度区间的条件下，即使热处理lO小时，先驱膜也只能变成|11—1212相 的薄膜。而要达到n一1223相薄膜的出现，至少需要在910。C氧气中热处理8小时以上。我们分别在 氧气的环境中进行了850ac，880。C