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传感器研究、开发及产业化的体会 冯冠平 清华大学．中国北京100084， 屈指算来，从我开始从事传感器技术与应用方面的研究开始，迄今已有30多年。在传感 器研究、产业化、应用产品开发等方面都经历了许多，感触颇深。 作为国家信息技术政策中重点发展的高新技术，传感器及其应用技术在科学研究、军事、 工业以及民用领域有着十分广泛的应用。关于各类传感器及其应用技术的研究也吸引着一代又 一代的研究人员在这一领域辛勤耕耘。形成一个相对成熟且又生机勃勃的学科，充满着机遇和 挑战。可以说，在工业、农业、国防、医疗以及人民生活走向现代化的过程中，无不渗透着传 感器的应用。 在我从事传感器及其应用产品研究、开发和产业化的经历中，先后接触了电涡流、压电谐 振以及红外测温等多种机理的不同种类的传感器。涉及了力学量、化学量、以及生物量测量等 应用方向。从大型旋转机械故障诊断中用的电涡流位移传感器的研究，到新型数字式石英谐振 力敏传感器的产业化，再到抗非典时期的红外非接触式测温仪的适时推出。我都为之付出了很 多心血，体会也很深。在这里，结合这些年的研究和产业化工作，谈谈几点体会。 1． 研究中要突出创新，注重原创性 很显然，我们从事任何一项科学研究工作，创新是原动力，也是我们兴趣所在，没有了创 新，科学研究也就降低了价值，失去了生命力。但另一方面，知识的积累和继承也是一个科学 工作者能够出原创性科研成果的基础。这里就有一个辩证关系，只有当有了丰富的知识，有了 对所从事领域的研究现状和相关学科知识的掌握达到一定的程度，也才有可能产生新的思想火 花，进而作出创新性的研究成果。 从事科学研究的最终目的都是为了服务于社会，促进人们对物质世界的认识，促进人类社 会的进步，促进人们精神和物质生活的不断改善。这涉及到科学和技术两个方面。在传感器技 术领域，新型传感器研究和已有传感器的应用技术的研究应该说具有同等重要的地位。我们讲 原创性，既包含传感器技术原理方面的创新，也包含传感器应用技术方面的创新。 最近十多年，我们做的一个主要项目是石英谐振式力敏传感器的研究、开发和产业化工作。 从机理性研究、样机试验、传感器工程化一直到形成规模化生产，带动年新增产值近亿元。现 在来看我们可以说是成功了，但这是一个艰苦而漫长的过程。有许多人为这个项目做出了贡献。 关于石英谐振器力频效应和石英谐振式力敏传感器的研究工作，此前已经有比较长一段时 间，自67年关于AT切石英谐振器力频特性的研究起，有不少关于石英谐振式力敏传感器的 研究，也有不少这方面的专利闯世。但是始终没有规模化生产的石英谐振力传感器出现。 我们在90年代初投入这项研究时，认真总结分析了前人在这方面的研究工作，分析了这 种传感器未能实现大规模生产应用的原因，将工作的重点放在组合结构的石英传感器的结构技 术研究方面，发明了一种套装插式结构的传感器结构工艺，在此基础上开展了深入持久的研究， 以期实现石英谐振式力敏传感器的规模化生产。在整个研究过程中，我们在石英敏感器件的敏 感机理、结构设计以及传感器的结构稳定性研究、温度稳定性及其补偿技术研究、传感器的可 靠性研究等方面完成了一系列创新性的工作，为传感器的工程化和后期的产业化及大量应用奠 定了良好的基础。 这些创新性的工作，确定了进一步的产品开发和产业化的技术方向。另一方面，通过发明 专利的申请，也从知识产权的角度确立了自己的技术地位。在传感器结构技术方面我们共申请 了5项发明专利，全部获得授权。传感器产业化和规模化应用的水平在国际上处于领先地位。 这种新型传感器具有数字化、体积小、耗电省、成本低等突出优点。本项目的研究成果标 志着规模化生产的力敏传感器由传统的模拟量传感器到数字量传感器的技术跨越，推动了力敏 传感器领域的技术进步。 10 苎全壁全璺墼查垄竺兰堡鱼墨兰查全垫丝!!生 2．研究开发需要持之以恒 一个新产品，特别是一种新型传感器的开发和产业化的过程将是一个相对漫长的过程，通 常不会是一帆风顺的。因此在研究过程中，要特别强调持之以恒，必须要具备十年磨一剑的恒 心。要做长期坚持不懈的努