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2007年上海市电子电镀学术年会论文集
surface
strongly．
weakerthan
meansthe effectofPEGatthebottomofMVismuch
Thesteady-statepolarizationanalysesthat inhibiting
can
to difmsionthat alittleamountofPEG
thatattheout-surfa∞ofMVThiS isattributedthebad
phenomenon ahilityonly
diffuseintotheviabottomandadsorbtllere．Therefore．PEGinhibits of at山eout-surfaceof
mainly electrodepositioncopper
MV
duringvia-fillingprocess．
EIS revealstllatthe behaviorofPEGisrelatedtothe
analy∞s adsorption．desorption appliedpotential．皿eadsorption
The
ofPEGisfrom0P the ofPEGisfrom一0．084to一0．194V
to—O．084V,and
potcnfialrange desorpfionpotentialrange
intheformofPEG。Cu2+-C1’and theexistenceofCI‘call the
ofPEGis PBG．Cu+·C1。。and strengthen
adsorption mainly
ofPEGinthecathodesurface its
adsorption throughspecificadsorptionability．
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