用光栅正负一级衍射效率之比反演光栅参数的数值模拟.pdfVIP

维普资讯 激《2翳 拳磐 函巽 效率之 鋈 i 20町) 41 用光栅正负一级衍射效率之比反演光栅参数的数值模拟 张丽娟 ，李建龙 ，傅克祥2，张珍辉 f1．桂林电子科技大学电子工程 系，桂林 541004；、 2．四川大学物理科学和技术学院，成都 610064， 提要：用衍射光栅的正负一级的能量之比来弱化衍射光栅表面的粗燥，周期的细微畸变，介质分布不均匀等带给实际光栅与理想光栅之间 的差异，弥补实际光栅单一级次信息在实验测量中在反应光栅结构参数的缺陷。文中用数值模拟的方法优化反演了几种浮雕面型光栅的结构 参数，反演结果较理想，数值论证 了该法的可行性。 关键词：模拟退火；光栅参数；正负一级衍射效率之比 中图分类号：TN247 文献标识码：A 文章编号：0253—2743(2007)03—0041—02 Numericalsimulationcalculationofgratingsparameterswithhtediffraction efficiencies ratioof htediffractionorders m= ±linhteory ZHANGLi—juna 。IJJian—long2。FUKe—xi~g2。ZHANGZhen—hui ，1．DepartmentofElectronicEngineering，CollegeofGuilinElectronicIndustry，GuilinIGuanxi541004，China；1 、2．CollegeofPhysicalScienceandTcehnology。SichuanUniversity。Chengdu610064，China ， Abstract：Inthispaper。wededucehtedifference，whichoriginfmⅡlhteroughnessofhtegratingsurface，theremoteneSSaberrationinhteperiodsturcture nadhtemedium refractiveindexdistributeuneven，betweentheexactgratingnadtheacdeemiconewiht htediffractionefficienciesofhtetwoordersm = 一1． InSoFtiedegree，htemehtodcanoffsethtelimitationofthesingleorderreflectthestructure parametersofhtergatinginhteexperiment．Firstly。westudyhtemerit 0fhteratioofhtewtodiffractionefficiencyinhteelTOrswhichexistinhteexactrgating．Inhteend，we nhtesimulatde experimentalrgaphsofhtetransmittnace spectrum ofhtegratingsbyhtewayofaddingdifferextentGausswarpsontohteidealtransmittancespectrumofesveralkindsgratingsIAndwecalculatetheparam— etersofhteesveralkindsrgatingwiht hteoptimizedarithmetic—Simulatde An nealAlgorithm ．lheresultofhteparametersisexcellenttohteexactvalue． Keywords：SimulatedAnnealAlgorithm；gratingparma eters；diffractionefficiencyratioofordersm： ±