金属薄膜力学性能压痕法的有限元分析.pdfVIP

维普资讯 2008年 5月 沈 阳建 筑 大 学 学 报 (自然 科 学 版 ) May 2008 第24卷第 3期 JournalofShenyangJianzhuUniversity(NaturalScience) Vo1．24，No．3 文章编号：1671—2021(2008)03—0416—04 金属薄膜力学性能压痕法的有限元分析 任德斌 ，李 芳 ，苑宏利2，王经纬 (1．沈阳建筑大学土木工程学院，辽宁 沈阳 110168； 2．国电和风风电开发有限公司，辽宁 葫芦岛 125001) 摘 要：目的 为了更精确地计算 Si基金属薄膜材料 中金属薄膜的弹性模量，提出一种新的计 算方法．方法 对 Si基体铜薄膜在 圆柱压头压入过程 中的力学行为进行有限元模拟 ．结果 通过 多次迭代计算，得到了两种压头情况下，基体的弹性模量和金属薄膜弹性模量之间的关系曲 线．结论 这两条曲线的交点就是基体材料和金属薄膜材料的弹性模量．通过计算表 明了有限 单元法计算弹性模量的方法在纳观情况下同样适用，解决 了必须依靠实验才能计算金属薄膜 弹性模量 的问题 ． 关键词 ：弹性模量；纳米压痕 ；有限元模拟 ；圆柱压头 中图分类号 ：0334．1；0733 文献标识码 ：A 随着纳米金属薄膜在微电子设备 、磁记录、光 法要与实验相结合才能分别得到薄膜和基体的弹 学等领域中的广泛应用，对其力学性能也提出了 性模量，而 目前还没有条件进行纳米尺度的平头 更高 的要求…，因此，研究薄膜 的力学性能就显 压痕实验． 得尤为重要 ．当金属材料的尺度到了纳米级时，其 笔者提出了一种迭代的计算方法，解决了必 力学性能会有很大改变 ，若研究薄膜 一基体系统 须依赖实验才能分别计算 出基体和薄膜材料弹性 中薄膜的力学性能，首先必须测定其基本的力学 模量的问题，与以往的计算相 比，可 以更准确地计 参数 2【】．近年来发展起来 的纳米压入仪为研究薄 算薄膜材料的弹性模量 ． 膜的力学性能提供了有力的工具，使用圆锥或棱 1 有限元模型建立及计算方法 锥压头连续测定载荷 一位移 曲线，进而评定材料 的硬度，弹性模量，屈服强度，塑性及蠕变性能．许 薄膜材料系统如 图 1所示．可以看成半无限 多研究人员正是以此为基础开展了薄膜力学性能 大体，因为是圆柱形压头，所以将计算模型简化为 的研究L3_5J．有限元计算可以对 圆锥压头情况 的 轴对称 问题进行计算，计算模型的网格划分 (压头 实验进行数值模拟，也可以解决一些实验 中无法 附近局部)如图2所示．因为压头和薄膜与基体的 解决的问题 ，但是计算过程是非常复杂的L6J．由 界面附近会有应力集中，为了提高计算精度 ，在进 于基体的因素，在 以往的实验研究和有限元计算 行 网格划分时，单元尺寸相对较小． 中，得到的薄膜材料的力学参数包括弹性模量的 计算时的基本假设：压头为完全刚性；薄膜与 精确度难免受到影响． 基体间完全结合 ；压头压入之后压头与薄膜之间 圆柱压头的特点是压头对受压材料的压力是 无滑动 ；在弹性变形范 围内计算 ．模型的尺寸为 均匀分布，接触部分的面积可以认为是不变化，而 505nm×500nm，薄膜厚度为 5nm．边界条件按 且可 以不考虑摩擦力L7-9]，因此，平头压痕 的影 照轴对称的边界条件处理，对称轴处的径 向位移 响因素比较少．许宝星Llo]等提 出了确定宏观尺度 为 0( =0)；模型下边界的轴向位移和径 向位移 的热障涂层弹性模量的平头压痕法，但是这种方 均