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30 1 电 子 显 微 学 报 Vol. 30 ，No. 1
第 卷第 期
20 11 2 20 11-02
年 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
文章编号:1000 -628 1 (20 11)0 1-000 1-06
状态激励轻敲模式原子力显微镜的设计与仿真
1 ，3 2 ，3 2 ，3
， ，
华宝成 钱建强 姚骏恩
( 1. ，2. ，
北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院 物理科学与核能工程学院
3. ， 100 19 1)
微纳测控与低维物理教育部重点实验室 北京
: ， ，
摘 要 为轻敲模式原子力显微镜设计了一种激励方式 在带有状态反馈的轻敲模式原子力显微镜基础上 除去
， ，
原有的外加激励信号而引入一个自动增益控制环节 用于维持状态反馈信号的幅度恒定 并将此信号作为悬臂振
。 ， 。
动的激励信号 该激励方式即为状态激励 用于轻敲模式时可称为状态激励轻敲模式原子力显微镜 采用
Matlab / Simulink ，
工具实现了对状态激励轻敲模式原子力显微镜系统的建模和数值仿真 起振曲线证明了状态激励
; 、
信号能够驱动悬臂振动并调整其工作频率 逼近曲线 线扫描曲线等典型功能仿真实验证明了状态激励方式能够
成功地应用于轻敲模式成像。
: ; ; ;
关键词 原子力显微镜 轻敲模式 状态激励 数值仿真
中图分类号:TP39 1. 9 ;TG115. 2 1 + 5. 9 文献标识码:A
轻敲模式原子力显微镜(TM-AFM)又称幅度调 实现状态反馈需要在 TM -AFM 装置的基础上增加
， 。
制原子力显微镜 是目前应用最为广泛的纳米尺度 移相放大电路 移相放大电路可由简单的模拟芯
［1 ～ 3 ］
的显微分析方法和操作手段之一 。在 TM-AFM 片构成，结构简单。
， 。 、
中 悬臂被激励在其共振频率附近振动 当悬臂接 近年来出现的数值仿真法是继实验法 解析法
，
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