超短脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜实验的研究.pdfVIP

第 19 卷　第 2 期 光　 学 　学 　报 V o l. 19, N o. 2 1999 年 2 月 A CTA O P T ICA S IN ICA F eb ru ary , 1999 超短脉冲准分子激光淀积类金刚石 薄膜的实验研究 ) ) ) ) ) ) ) 1 , 2 1 1 1 2 2 姚东升 　刘晶儒 　王丽戈 　李铁军 　俞昌旋 　詹如娟 ) 1 , 西北核技术研究所, 西安 7 10024 2) , 中国科技大学近代物理系, 合肥 230026 ( ) 摘　要　利用 K rF 超短脉冲激光器 248 nm , 500 f s, 10 m J 开展了超短脉冲激光淀积类金刚石薄 膜的实验研究, 薄膜生长速率 0. 02 , 厚度 0. 5～ 0. 6 , 显微硬度 55 , 光学透过率 nm p u lse m GP a 优于 90% (580～ 20 m ) 。采用等离子体的时间空间分辨的发射光谱技术, 给出了等离子体的粒 子成份以及等离子体的时间空间的演化图像, 以及在不同激光参数条件下等离子体特性的变化, ( ) 发现超短脉冲激光的等离子体有能量高、持续时间短 高通量 的特点, 适合类金刚石薄膜的淀积 并有制备其他非晶态结构和纳米相薄膜材料的潜力。利用自行研制的离子探针原位诊断了在成膜 条件下的粒子流的特性及其随激光参数等实验条件的变化, 其结果与发射光谱非常自洽。比较了 不同激光参数条件下, 等离子体特性、粒子流特性及淀积类金刚石薄膜的结构和性能的变化, 并 对短脉冲激光和靶相互作用过程和激光等离子体淀积类金刚石成膜的机理进行了讨论, 为进一步 提高成膜质量走向实用化打下基础。 关键词　超短脉冲, 　类金刚石薄膜, 　等离子体羽。 1　引　　言 从 1987 年脉冲激光烧蚀淀积(PLD ) 高温超导薄膜成功开始, 用这种方法制备铁电薄膜、 氧化物薄膜、超硬膜、超薄膜等都有很大进展[ 1～ 8 ] , 类金刚石薄膜(DL C) 具有良好的力学、热 学、光学性能, 是非常有用的材料, 其硬度很高, 热导率和红外光学透过率都很好, 可用作导 弹、飞机上红外光学窗口保护膜和刀具、磨具的超硬涂层等。1985 年N agel 等人最先报道用 激光烧蚀淀积方法制备类金刚石薄膜, 十多年来在膜的制备技术、膜的结构和性能测试及膜 的应用等方面取得许多成果。制备的类金刚石薄膜一般表面比较光滑, 厚度 0. 1～ 5. 0 m , 硬度 20～ 78 GP a, 红外透过率 90% , 光学带隙 1. 0～ 2. 6 eV [9～ 11 ] , 并发现制备类金刚石特 性的薄膜存在激光功率密度的阈值, 且用短波长激光阈值较低, 对成膜有利, 激光烧蚀产生 的等离子体的特性和粒子的种类、能量等对 sp 3 键的形成至关重要[ 10～ 13 ] 。国内开展这方面的 工作起步较晚