三自由度压电叠堆微位移放大机构的研究.pdfVIP

现代制造工程 2010年第2期 设备设计／诊断维 再制造 三 自由度压 电叠堆微位移放大机构的研究 王宏峰，陈道炯 ，刘巍 (上海理工大学机械工程学院，上海 200093) 摘要：提出一种应用于压电叠堆的微位移放大机构，该机构以压 电叠堆为驱动元件，通过基于杠杆原理的柔性铰链二级放 大机构，放大压电叠堆的输出位移，在互相垂直的三个 自由度方向上通过磁性部件连接，实现三 自由度方向上独立的位移 输出。同时，通过仿真和试验，对其静态特性和动态特性进行研究。试验测试结果表明：该机构对压电叠堆输出位移的放 大倍数达到5倍，三个 自由度方向上的位移互相没有影响，并且该机构具有线性 良好、高分辨率和高频响应等特点。 关键词：压电叠堆；放大机构；三 自由度 ；磁性连接 中图分类号：TH38；TN384 文献标识码：A 文章编号：1671—3l33(2010)02—0108—03 Studyon3-DOF m icro-positioningmagnifyingmechanism WANGHong—feng，CHENDao-jiong，LIUWei (CollegeofMechanicalEngineering，UniversityofShanghaiforSciencenadTechnology，Shanhgai2O0O93，China) Abstract：Amicro—displacementmagnifyingmechanism usedinpiezo—stack ispresented．Takingthepiezoelectricmultilayeractu— atorsasdriversofamplifier，thedisplacementofpiezoelectricmuhilayeractuatorisamplifiedwith theflexurehingeamplifier basedontheprineiplesoflever-typeamplification．Bythemagneticassemblyin3一DOFconnecting3一DOFindependentdisplace— mentswereoutput．Thestaticnaddynamiccharacteristicsareemulatednadtestedontheprototype；thecharacteristicsofgoodlin．． cality，highresolutionandhigh~equencyaleapproved．Experimentalresultsconcludethatthemechanism canma plifyhtedis— placementto5times．3-DOFdisplacementshavenoinfluenceonothers． Keywords：piezo—stack；magnifyingmechanism ；3一DOF；magneticconnect 压电陶瓷具有体积小、推力大、分辨率高和频响 快的优点，并且不发热、无噪声、易于控制，是理想的 1 压电叠堆性能分析 精密微位移机构的驱动器件…。单个压电陶瓷的最 笔者选用层叠式压 电陶瓷结构 。将每一片压 电 大变形量为 1Ixm 以下 J，为获得较大的位移输出，通 陶瓷实现电路上并联 ，结构上串联的方式 。将压电 常采用层叠式压电片，使位移叠加输 出；但是，由于制 陶瓷片具有相同极性的面粘结在一起，相邻的片具有 造工艺等因素的限制，叠加后的位移输 出也只有几到 相反的极化方 向，每片的极化方 向与电场方 向一致 。 几十微米，不能满足一些需要较大范围内工作的微机 在 电场作用下，把叠片式压电陶瓷 的一端 固定，就可 电系统的要求。