多孔阳极氧化钛反射光学性质的研究.pdfVIP

第 26卷 第 1期 福建师范大学学报 (自然科学版) VoI．26 No。1 2010年 1月 JournalofFujianNormalUniversity (NaturalScienceEdition) Jan．2010 文章编号 ：1000—5277(2010)01—0064—05 多孔阳极氧化钛反射光学性质的研究 卓 红，林丽梅，吴小春，瞿 燕，赖发春 (福建师范大学物理与光 电信息科技学院，福建 福州 350007) 摘要 ：利用直流磁控溅射沉积铁膜 ，以硫酸为电解液进行不同时间的阳极氧化 ，获得多孔阳极氧化铁 (PATO)薄膜．用x射线衍射仪、扫描子显微镜、原子力显微镜分别表征PATO薄膜的结构和形貌特征，用 分光光度计测量样品的反射光谱．结果表明，制得的氧化钛薄膜是多晶的Ti00 样品的表面有明显的孔洞 结构，且粗糙度随着氧化时间的增加而增大．随着氧化时间从 10min增加到 4O，6O，90，120min，样 品的 颜色相应地 由蓝色逐渐过渡到黄色、橙色、紫红色和淡紫色．氧化时间为120min的PATO薄膜的在可见光 区的折射率低于2．0，孔隙率约为0．32；粗糙的表面及薄膜 内部的孔洞增强了光的散射，导致其消光系数大 于 0．1． 关键词 ：多孔氧化钛；阳极氧化；反射率；光学常数 中图分类号 ：0484．4 文献标识码 ：A ReflectiveOpticalPropertiesofPorous AnodicTitanium 0xideFilms ZHUOHong，LINLi—mei，WUXiao—chun，QUYan，LAIFa—chun (SchoolofPhysicsandOptoElectronicsTechnology，FujianNormalUniversity，Fuzhou350007，China) Abstract：Poroustitanium oxidefilms，withtheanodizingtimerangingfrom 10to120 min，werepreparedbyanodizationofTifilmsinsulphuricacidelectrolyte．Tifilmswerede— positedonglasssubstratesbydirectcurrentmagnetronsputtering．Themicrostructureand morphology ofporousanodictitanium oxide (PATO)filmswere investigated by X—ray diffraction，field—emission scanningelectronmicroscopyandatomicforcemicroscopy．Re— flectanceofthesamplewasmeasuredbyspectrophotometer．Theexperimenta1resultsindi— catedthatPATO film isapolycrysta11ineTi10O18．TheholesonPATO film surfacecanbeob— servedobviously．Thesurfaceroughnessincreaseswithincreasingtheanodizingtime． Itis foundthatthecolorofthesamplechangesfrom bluetoyellow，orange，violet—redandorchid whentheanodizingtimeincreasesfrom 10to40，60，90and 120min．Refractiveindicesof PATO film withanodizing120minarelowerthan2．0invisiblespectralregion，andporosity isabout0．32．Roughsurfac