四氯化硅氢化制备三氯氢硅的研究进展.pdfVIP

2010年 38卷第 1期 广州化工 ·7· 四氯化硅氢化制备三氯氢硅的研究进展 刘继三，姚又省，柯 曾鹏 (中国华陆工程公司，陕西 西安 710054) 摘 要 ：综述了多晶硅副产物四氯化硅的处理方法，将四氯化硅氢化制备三氯氢硅是最有效的方法，此方法不仅处理掉了四氯 化硅，同时生成了多晶硅生产的原料三氯氢硅，大幅的降低了生产成本，重点介绍了四氯化硅的氢化 ，包括热氢化、冷氢化与等离子 体氢化三种方法。 关键词 ：四氯化硅；三氯氢硅；氢化 Research Progresson PreparationofTrichlorosilane throughHydrogenationofSiliconTetrachloride LIUJi—san，YAOYou—xing，KE Ze -peng (ChinaHualuEnginee6ngCorporation，ShaanxiXian710054，China) Abstract：Themethodstodisposetheby—productsilicontetrachlorideofpolysiliconwerereviewed．Hydrogenation ofsilicontetrachloridewasthemostefficientmethod．Thismetholdnotonlydisposedtheby—productsilicontetrachloride． butalsogeneratedtherawmaterialtrichlorosilaneforpolysiliconproduction，whichgreatlyreducedtheproductioncost． Th ehydrogenationofsilicontetrachloridewasfurtherdescribedindetails，includingthermalhydrogenation，low—temper— aturehydrogenation，plasmahydrogenationandSOon． Keywords：silicontetrachloride；trichlorosilane；hydrogenation 近年来，我国多晶硅产量急剧增加，多晶硅的副产物四氯化 氯化硅蒸发器中充分混合后 ，通入到氢化炉内。出氢化炉的混 硅的安全环保问题 日益突出。四氯化硅是高毒物质，极易与水 合气体在0．05s的时间内由I100℃骤冷到300℃以下，此时混合 反应生成硅酸和氯化氢，直接排放严重污染环境，如何安全处理 气体中三氯氢硅的含量高达 32％，四氯化硅和氢气回收后重新 四氯化硅已成为制约多晶硅发展的瓶颈，寻找有效处理四氯化 参与反应。此方法的缺点在于在极短时间内将混合气体冷却到 硅的途径是当前亟待解决的问题。 300~C以下需要大量的冷媒，反应混合气中氢气含量较高，同时 目前，处理四氯化硅的技术主要包括”I4』：制备气相 白炭 反应温度高，这三者都增加了此方法的能量需求，因而明显的增 黑、制备有机硅产品、制备光纤和制备三氯氢硅。气相 白炭黑、 加了『成本；其优点在于高的三氯氢硅收率。 有机硅产品和光纤的市场需求量很有限，限制了处理四氯化硅 德国瓦克公司提供了一种 四氯化硅的热氢化工艺 ，其相 的量。由于三氯氢硅是生产多晶硅的原料 ，从而四氯化硅氢化 对于现有技术而言具有节能的优点，反应在 1IO0~C，氢气与四氯 制备三氯氢硅没有量的限制，同时降低了多晶硅的生产成本。 化硅的摩尔 比为2：1的条件下进行，出反应器的混合气体在 因此 ，四氯化硅的氢化成为研究热点，本文对 四氯化硅氢化方法 25ms的时间内通过换热器 由1100℃冷却到700oC。经冷凝后， 进行了综述，并 比较了各种氢化方法的优缺点。 混合物中三