视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制.pdfVIP

第 8卷 第 1期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．8 No．1 2010年 1月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jan． 2010 视 网膜前假体中柔性凸起微 电极 的研制 邢玉梅 ，惠 春 ，李 刚 ，赵建龙 (1．上海交通大学生命科学技术学院，上海 200240； 2．上海交通大学微纳科学技术研究院，上海 200240； 3．上海大学纳微能源研究所，上海200444；4．中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ，上海 200050) 摘 要：采用聚对二甲苯 (ParyleneC)作为结构材料，借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性 凸 起微 电极阵列．微 电极直径为 80txm，引线线宽40Ixm，电极间距为 280 m，引线间距为 80 m．电极位点高度约为 10 m，呈明显的圆滑凸起结构特征．电极和引线表面均平整光滑，轮廓清晰，结构完好．阻抗测试结果表明：随着频 率的增加，凸起微 电极的阻抗呈下降趋势，显示 出明显的高通特性；1kHz时凸起微电极的阻抗约为 10kn，较具有 相同基底面积的平面电极约低 30％，有助于提高电极的信噪比，可望用于视网膜前假体中．柔性凸起微电极制作工 艺简单，利于高效率批量制作并提高微 电极的集成度． 关键词：视觉修复；视网膜假体；神经刺激；柔性微 电极；微细加工 中图分类号：TP212．3；R338 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2010)01-0025-06 Fabrication ofFlexibleConvex-ShapedM icroelectrodesfor EpiretinalProstheses XINGYu—mei， ，HUIChun ，LIGang ，ZHAOJian—long (1．CollegeofLifeScienceandBiotechnology，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China； 2．NationalKeyLaboratoryofMicro／NanoFabricationTechnology，ResearchInstituteofMicro／NanoScienceandTechnoloyg ， ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China； 3．InstituteofNano／MicroEnergy，ShanghaiUniversity，Shanghai200444，China； 4．ShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnoloyg ，ChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) Abstract：Bymeansofmicrofabricationtechnology，anarrayof6 ×6 flexibleconvex—shapedmicroelec— trodeswasdesignedandfabricatedwithParyleneCasthebulkmaterial，inwhichthediameterofParylene basedflexibleconvex-shapedmicroelectrodeis80 m，thewidthofmetaltracesis40 Ixm，thespacingof electrodeis280lxmandthepitchbetweenmetaltracesis80txm．Thesingleelectrodeisabout10 m in heigh