超声行波微流体驱动模型的耦合分析.pdfVIP

MEMS器件与技术 MEMSDeviceTechnology 超声行波微流体驱动模型的耦合分析 张敬涛，魏 守水，徐 昊 (山东大学 生物医学工程研究所 ，济南 250061) 摘要 ：介绍了带有微沟道的超声行波微流体驱动的圆环模型 。在对模型结构部分进行模态分析和 瞬态动力学分析的基础上，基于有限元分析，针对耦合模型作声 固耦合分析 ，分别得到与空气和 水耦合时模型的固有频率；进行耦合场的流固耦合分析 ，采用瞬态动力学方法，得到沟道 内流体 在超声行波激励下的流场情况。比较不同时间子步时流体域和固体域的位移云图，得到流体随固 体振动情况；分析不同时间子步时流体域 的速度矢量 图，得到流体在超声行波方向上 的流动情 况，验证 了超声行波微流体驱动的可行性 。 关键词 ：超声行波；有限元 ；微流体 ；声 固耦合；流固耦合 ；瞬态动力学分析 中图分类号：TM38 文献标识码 ：A 文章编号 ：1671—4776 (2010)01—0033—05 CoupledAnalysisofDrivingModelofUltrasonicTravelling W aveMicro-Fluids ZhangJingtao，W eiShoushui。XuHao (SchoolofControlScienceandEngineering，ShandongUniversity，Jinan250061，China) Abstract：Theringdrivingmodeloftheultrasonictravellingwavemicrofluidwithmicrochannels wasintroduced． Basedon themodalandtransientdynamicanalysisofthemodelstructureand theacoustic—-structureinteraction analysisforthecoupledmodelthrough thefiniteelementme_。 thod (FEM )，thenaturalfrequencyofthemodelcoupledwiththeairandwaterwasobtainedre— spectively．Bythefluid—structureinteraction (FSI)analysisofthecoupledfield，theflow situa— tionofthefluidinthemicrochannelpoweredbytheultrasonicwavewasobtainedbytransientdy— namicmethod．Thevibrationsituationofthefluidwiththestructurewasobtainedbycomparing thedisplacementcontouroffluidand structurefieldsindifferenttimesubsteps．Theflow situa— tionofthefluidalongultrasonictravellingwavewasobtainedbyanalyzingthevelocityvectorof thefluidfieldin differenttimesubsteps．Thefeasibility oftheultrasonictravellingwavemicro— fluiddrivingisvalidated． Keywords： ultrasonic travelling wave；finite elementmethod (FEM )；microfluid；acoustic— structureinteraction；fluid—structureinteraction；transientdynamicanalysis DOI：10．3969／j．issn．1671—4776．2010．01．008 PACC：0710C