高速高精密主轴回转误差在线动态测试技术与研究.pdf

摘 要 摘 要 超精密电主轴是超精密机床的关键技术之一。主轴回转误差是影响机床加工 精度的主要因素。主轴回转精度是评价机床动态性能的一项重要指标。现代高速 超精密加工机床的主轴多采用液体静压轴承主轴和气体静压轴承主轴。液体静压 轴承和气体静压轴承的应用使得主轴回转精度得到大幅提高，使其进入到亚微米 甚至纳米级别。另一方面机床自动化、智能化技术以及机床主轴回转误差预报、 补偿技术的发展，则要求我们能对高精度的主轴回转误差进行负载下的实时动态 测量。 主轴回转精度的测量不可避免会混入被测件本身的形状误差，而对于高精密 主轴回转精度的测量，混入的形状误差不能忽略，因此主轴回转精度测量技术的 研究焦点在于误差分离技术的研究。本课题以高速空气轴承主轴作为研究的对象， 在对三种主要误差分离技术深入研究的基础上，结合高速高精密主轴工作的新特 性，提出了一种简便、准确的能用于工况状态下进行回转误差实时动态测量的数 理统计法误差分离技术，建立了数理统计法误差分离技术的理论，给出了完整的 测量方法及具体的数据处理方法。 为了对数理统计法误差分离技术的有效性进行仿真验证，对其分离精度进行 仿真评价，以Matlab7为开发平台，开发了一套专门的开放性主轴回转误差仿真 软件系统。在该仿真系统上，应用数理统计法误差分离技术分别对随机性和周期 性主轴回转误差进行了仿真测量研究，根据仿真测量结果观察数理统计法误差分 离技术的分离效果。另外，研究了统计转数对测量结果精度的影响规律。 根据数理统计法误差分离技术测量方法的要求，正确选择满足测量要求的组 件，搭建了一套适用于高速高精度主轴回转精度测量的硬件系统；基于虚拟仪器 技术，以LabVIEw7．1为开发平台，开发了一套高速主轴回转误差动态测试软件系 统。 在高速主轴回转误差动态测试系统上对广东：I：业大学高速加工实验室的空气 静压轴承主轴进行回转误差的测量实验研究，通过对测量数据的分析评定数理统 计法误差分离技术的有效性及测量方法的可靠性。 关键词：回转误差；圆度误差；高速主轴；误差分离；动态测量 ￡查三兰奎兰三耋堡圭兰堡丝圣 ABSTRACT Ultra i soneofthe ofultra machinet001． precisespindle keytechnologiesprecise motionerrorisamainfactorthatinfluencesthe ofthe machining Spindle accuracy t001．s an machine motion is itemtoeValuatethe pindle accuracyimportant dynamic of of machinet001．Themeasurementthe motjo刀eorjsoneof performance spindle the of machinet001．Aerostaticmotorizedand keytechnologiesprecise spindle motorizedare inmodern ultra widely hydrostatic spindl