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薄膜技术的应用 * 第五节 平行平板产生的干涉 分波阵面法的干涉，受到空间相干性的限制（干涉孔径角总有一定大小，且 ），只能使用有限大小的光源，在实际中不能满足条纹亮度的要求（激光光源除外）。 为了使用扩展光源，必须实现干涉孔径角等于零的干涉。 分振幅法 利用透明介质的第一和第二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解为若干部分，由这些光波相遇所产生的干涉，称为分振幅法干涉。 · p S * 在使用扩展光源的同时，保持清晰的条纹，解决条纹亮度与可见度的矛盾。 一、干涉条纹的定域 两个单色相干点光源在空间任意一点相遇，总有一确定的光程差，从而产生一定的强度分布，并都能观察到清晰的干涉条纹，称为非定域干涉。 在扩展光源情况下，能够得到清晰条纹的区域称为定域区。（定域干涉） 利用薄膜上、下两个表面对入射光的反射和折射，可在反射方向(或透射方向)获得相干光束。 在一均匀透明介质n1中放入上下表面平行,厚度为e 的均匀介质 n2(n1)，用扩展光源照射薄膜，其反射和透射光如图所示 1’ D i i B A C 2’ n1 n2 e S 在阳光照射下，肥皂膜或水面上的油膜上面呈现美丽的彩色图案，这些都是常见的薄膜干涉现象。 二、平行平板产生的等倾干涉 在一均匀透明介质n’中放入上下表面平行，厚度为h 的均匀介质n 两支相干光的光程差为： 有半波损失。 n’ n n’ C A B h N 由折射定律和几何关系可得出： n’ n n’ C A B h N 在平行平板的干涉中，光程差只取决于折射角，相同折射角的入射光构成同一条纹，称等倾条纹。 明纹 暗纹 反射光 入射光掠入射（i≈90°）或正入射（i= 0）情况下： 满足 n1n2n3 或 n1n2n3 时，计入半波损失； 满足 n1n2n3 或 n1n2n3 时，不计半波损失。 等倾干涉：非平行光入射平行平面薄膜，e相同，对于不同的入射角i产生不同的干涉条纹， 这种干涉叫等倾干涉 。 等倾条纹 L f P o r环 B e n? n? n n? i r A C D · · 2 1 S i i i · · · 倾角i相同的光线对应同一条干涉条纹 —等倾条纹。 条纹特点: 点光源照明 形状:一系列同心圆环 条纹间隔分布:内疏外密 面光源照明 i P i f o r环 e n? n? n n? 面光源 · · · 只要入射角i相同，都将汇聚在同一个干涉环上（非相干叠加） 透射光的干涉： ? ? 对于同一入射角的光束来说，两支透射光的光程差和两支反射光的光程差恰好相差半个波长，当对应某一入射角的透射光条纹是亮纹时，反射光条纹是暗纹。透射光的等倾条纹和反射光的等倾条纹是互补的。 对于同一厚度的薄膜，在某一方向观察到某一波长对应反射光相干相长，则该波长在对应方向的透射光一定相干相消。因为要满足能量守恒。 增透膜、增反膜用在光学仪器的镜头上，就是根据这个道理。 增透膜和增反膜 增透膜----- 利用薄膜上、下表面反射光的光程差符合相消干涉条件来减少反射，从而使透射增强。 为了减少反射引起的光能损失，常在许多光学仪器(如照相机、摄像机等)的镜头上镀一层厚度均匀的透明薄膜(常用氟化镁MgF2, n=1.38),用以增加透射，这个薄膜,就是增透膜。 反射相干光满足相消干涉条件来减少反射： n2e ——光学厚度 膜 n1=1.0 n2=1.38 n3=1.50 增反膜----- 利用薄膜上、下表面反射光的光程差满足相长干涉，因此反射光因干涉而加强。 与增透膜相反,在另一些光学系统中希望光学表面具有很高的反射率(如He–Ne激光器要求反射99%)，这时可在元件表面多层镀膜以增强反射,这类薄膜称为增反膜或高反射膜。 通常是在光学玻璃表面镀上一层折射率n2 n3 的介质薄膜 工艺上通常采用多层膜。 13~17层 MgF2 (1.38) 1.50 ZnS (2.35) MgF2 (1.38) ZnS (2.35) MgF2 (1.38) 镀膜时, 要适当选择每层膜的厚度, 使反射加强。 在薄膜干涉中，光线一部分被反射，另一部分则透射进入介质。反射光干涉极大时，光线大部分被反射。反射光干涉极小时，光线大部分被透射。通过控制薄膜的厚度，可以选择使透射或反射处于极大，增强表面上的反射或者透射， 以改善光学器件的性能。称为增透膜，增反膜。在生产中有广泛的应用。 例如：较高级的照相机的镜头由6个透镜组成，如不采取有效措施，反射造成的光能损失可达45%～90%。为增强透光，要镀增透膜，或减反膜。复杂的光学镜头采用增透膜可使光通量增加10倍。 而激光