纳秒级脉冲电流电化学加工定域性的研究-毕业论文.docVIP

纳秒级脉冲电流电化学加工定域性的研究  南京航空航天大学硕士学位论文 摘  要 电化学加工包括从工件上去除金属的电解加工和向工件上沉积金属的电 镀、电铸加工两大类。其中电解是金属工件在电解液中发生阳极溶解的一种加 工过程。电铸是一种在芯模上电沉积金属，然后使两者分离，来制取零件的工 艺。 无论电解工艺还是电铸工艺对精度以及加工质量的要求都很高，而定域性 是和加工的精度以及质量密切相关的，它是指电加工出来的金属零件的形状、 尺寸与工具电极的形状、尺寸的一致性。定域性强，复制精度和重复精度也相 应提高，从而加工出的金属零件的轮廓形状以及精度都相应提高。据此本文完 成了如下工作： 1. 分别使用直流电源、毫微秒级脉冲电源以及纳秒级脉冲电源在镍片上进 行了电解微小孔的试验，对比分析出纳秒级脉冲电流在电解定域性方面的优势， 优选出最佳电解试验参数。 2. 分别使用直流电源、毫微秒级脉冲电源以及纳秒级脉冲电源进行了铜的 电铸试验，对比分析出纳秒级脉冲电流在电铸定域性方面的优势，优选出最佳 的电铸试验参数。 关键词：定域性，电解，电铸，纳秒级脉冲 i 南京航空航天大学硕士学位论文 ABSTRACT Localization is closely related with the accuracy and quality, which means the consistency of the shape, size between the metal parts with the tool electrode. The accuracy and quality will be improved when the localization is enhanced in electrochemical machining and electroforming. To study the effect of the localization, the following work has been done in this paper: 1. Micro holes are electrochemical drilled in nickel using nanosecond pulse power，millisecond pulse power and direct current power. The results show that the localization could be significantly enhanced using nanosecond pulse power. The maximum localization is got at the pulse duration of 50ns and 4V voltage. 2. Cu dots are electrodeposited using nanosecond pulse power，millisecond pulse power and direct current power. The results indicate that the localization could be significantly enhanced using nanosecond pulse power. The maximum localization is got at the pulse duration of 150ns and the current is 100mA . Keywords:  Localization ， Electrochemical  micromachining,  Electroforming,Nanosecond pulse ii 承 诺 书 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，独立进行研究工 作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外，本学位论文的研究 成果不包含任何他人享有著作权的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的 其他个人和集体，均已在文中以明确方式标明。 本人授权南京航空航天大学可以有权保留送交论文的复印件，允许论文被查 阅和借阅,可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采 用影印、缩印或其他复制手段保存论文。 (保密的学位论文在解密后适用本承诺书) 作者签名：日 期： 纳秒级脉冲电流电化学加工定域性的研究 图表索引 图 2.1 电化学反应原理图……..…………….…...….………………………………….11 图 2.2 电解加工成型原理图 …..….………………………..………………………12 图 2.3 电铸的工艺流程示意图…………..….……………………