小尺度多层铜%2f镍膜的破坏特征原位研究.pdfVIP

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2017-08-22 发布于安徽
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小尺度多层铜%2f镍膜的破坏特征原位研究.pdf

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V01．21 第21卷增刊材料研究学报 Suppl． 2 00 CHINESE RESEARCH 07 7年5月 JOURNALOFMATERIALS 20 May 小尺度多层铜／镍膜的破坏特征原位研究王习术· 黄建国。孟祥康： 1．清华大学航天航空学院北京100084 2．南京大学材料科学与工程系南京210093 摘要对不同多层铜／铜，铜／镍膜进行SEM下的原位三点弯曲试验，研究了不同弯曲曲率下薄膜间裂纹萌生与扩展以及皱褶发生与曲率间的变化关系．结果表明，当弯曲强度达到148MPa时，单层铜膜首先发生皱褶，皱褶表现为正弦波形，随着载荷的增加，薄膜最容易在皱褶的。谷底”出现断裂．而多层薄膜的试验结果表明在130MPa时，薄膜与基体发生开裂，但层间没有被破坏．因此，单层比多层薄膜抵抗弯曲破坏阻力高．层数和材料匹配的变化导致破坏模式从皱褶一薄膜开裂一薄膜脱粘和开裂的变化．关键词多层铜膜，微器件，失效破坏，原位观测，三点弯曲分类号TN304．055，0647．1 SEMin-situ onmicrofailure investigation ofmulti filmsunder bending Cu／Ni loading WANGXishuh‘HUANGMENG Jiangu02 Xiangkan92 1．Department D，EngineeringMechanics，TsinghuaUniversity，Beijing100084 Materialsand 210093 2．Departmentof Engineering．NanjingUniversity。Nanjing theNationalBasicResearch ofChina GrantNo．2004CB619304．事Supportedby Program through received revisedform 2004CB619305．ManuscriptJuly19，2006；in August18，2006．料Towhom shouldbe correspondence TheSEMin-situ onthemicrointerface and ABSTRACT the investigations cracking．propagation betweenthewrinklefailureandtheradiusof forthedifierent multi rel