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三坐标精密运动平台的设计.pdf
机床与液压’ 44/55/ ), )
三坐标精密运动平台的设计!
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杨国哲 王立平 郁鼎文 刘向阳
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清华大学精密仪器与机械学系 北京
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摘要 在超精密切削 磨削 特种加工中 大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾 也是多坐标超精密加工的难
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点 本文以三维结构的超精密加工为对象 进行了适合超精密三维结构特种加工运动平台的设计 实现了较大行程的三维
精密运动/ 该精密运动平台也是研制超精密加工机床的基础/
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关键词 超精密 工件台 运动控制 纳米
中图分类号! *+%/66文献标识码! I66文章编号! %44% $-77% 44/ # / $44% $-
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67概述 半导体器件 光学器件 微型机械的制造及特种材料
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随着科学技术的发展 人类在制造领域中采用的 加工等
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尺度
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