以热均压制备Cr-Si靶材和其性质之研究.pdfVIP

以热均压制备Cr—Si靶材及其性质之研究 谭中雄1 张世贤1 李世钦1 陈贞光2 何信弘3 薄慧云3 (1．国立成功大学材料科学及工程学系；2．国立台北科技大学材料及资源工程系；3．中山科学研究院) 摘要：高温仝羼的硅化物在高温时具备良好的物理以厦化学性质，故被广泛应用在高温严苛的环境之下。随着 薄膜成长的技木日趋进步．时靶材的需要也相时提高．然而，某些靶材会因为制作过程的关系而导致纯度上或结 构上有缺陷，这当中包括了成分偏析、晶粒粗走与多孔而不致密等等。而这些缺陷我们可以利用热均压(HotIso— static Pressing，HIP)柬消隆，以得到高相对密度、成分均匀、晶粒钿最与等方向性结构的材料。 热均压乃是利用高温高压的氩气，来去除材料内部的孔洞压缺陷，其作用包括：去除铸件孔隙、改善机械性质、 使粉末材料厦表面蒸镀物具一致性和借扩散键结改善焊辖完整性。燕均压适用于广泛酌材料，特剐是是铝告全、 工兵钢、杖度超喜金、蒸气涡轮零件、医学植八、自动化铸件与粉末冶空、靶材制作等工业。 在奉研竞中．我们利用热均压束制备cr—Si靶材，而在前处理方面分为封罐法与非封罐i}两太类，借此比较两 者之间的差吴，井进行一系列的测试与分析．进一步讨论大量生产的可行性。 关键词：封罐；热均压；靶材；孔隙 1前 言 Memorial 热均压制程早在1955年就被BattelleInstitute应用在连接不同的固态核能原料组件上。 1970年代开始则被应用在粉末冶金工业，利用热均压技术，可使金属铸件成品，达到极高的致密性及长效 性，而且可得到细密的晶粒结构及均向性佳之机械性质。热均压系利用高温加热及高压力，在一个封闭的容 器内使铸件材料密度致密，加热时以钼电阻加热，压力系由高压空压机及通人氩气达成，当炉体加热软化铸 件时，气体压力在工件表面均匀地加压，使表面达到完全致密化口1]。热均压基本上是以惰性气体作为压力 介质，制程的完成是在高温下于特殊的时间周期内完成，在热均压的高压力容器(vessel)内，热及压力是由 各方向以均匀的加热及加压方式，对工件任一表面产生相同的作用，借以去除如铸件内部之孔洞、缺陷，及增 加成型金属、陶瓷、粉末实型等之致密性，热均压制程中并没有形状及尺寸上的限制，可使材料性质达到最佳 化r‘_“。 热均压制程目前已广泛被应用于消除铸件缺陷，由于铸件材料常存在有铸造缺陷，包括缩fL、气孔、夹杂 物及合金偏析等，使材料本身的机械性质降低，借由适当的铸造技术来改善，虽可合理的控制铸造缺陷，但若 不借助外力来消除内部缩孔是不可能的，而热均压技术正好可提供此种外力以除去材料内部之各种缺陷，同 时增加高温之拉伸强度与机械性质。由于热均压压力是从各方向均匀的施加，处理时将零件置于充满钝气 之加热炉内，使材料具塑性，不仅可消除零件内部微孔，提高材料强度，而且不会改变零件本身之形状与尺 寸‘6～3。 靶材属于科技性产品，需具有很好的耐腐蚀性，以用于光学镀膜、玻璃镀膜、积体电路中的镀膜、半导体 功率器件中的多层金属膜、光学器件中的分光膜、刀具上的碳化铬硬质膜、X射线管中的阳极靶及民用建筑 玻璃中的反射膜等F8-10]。靶材是具有固定形状用于溅射镀膜之母材，靶材若依材料分类可简单地分为金属 与陶瓷两大类，若依制程分类通常可大略区分为熔炼制程与粉末冶金制程两大类。大多数金属靶材采熔炼 制程获得，少数靶材鉴于使用时晶粒大小控制、合金成份熔点差距太大等诸因素才采用粉末冶金制程o””1。 靶材质量的要求非常重要，目前国内制作高密度的cr靶材即采用热均压制程为主，在小尺寸靶材烧结方面 344 可用热压后再热均压之制程或者直接封罐后进行均压。由于靶材之形状并不复杂所以封罐困难度较低，通 常将金属粉末填人金属模具内，加温排气抽真空后，将抽真空管焊接密封后即可进行热均压[。’“1”。 实验中将利用高温高压方式的热均压设备，配合均匀快速的冷却系统(UniformRapidCooling，URC)， 所处理的金属铸件远比用铸造或锻造的方法有更多的优点，包括改善耐磨耗性、改善韧性及硬度、改善加工 性，更均匀的热处理反应、改善因热处理所造成的尺寸改变、更有效率的放电加工性、及改善镀膜在基材上的 质量。这些特性使铸件材料能够容易地成为具有更长的使用寿命、较大的耐疲劳性及较坚韧特性的零件。 因此，本研究将尝试以热均压方法改善金属靶材性质，并比较热均压前后金属溅镀