半导体制造工艺 教学课件作者 张渊 第1章　绪　　论.pdfVIP

半导体制造工艺 张渊主编 高职高专“十二五”电子信息类专业规划教材 半导体制造工艺 张渊 主编 第1章 绪 论 第1章 绪 论 1.1 引言 1.2 基本半导体元器件结构 1.3 半导体器件工艺的发展历史 1.4 集成电路制造阶段 1.5 半导体制造企业 1.6 基本的半导体材料 1.7 半导体制造中使用的化学品 1.8 芯片制造的生产环境 1.1 引言 图1-1 集成电路组成的抽象结构图 1.1 引言 图1-2 典型的半导体芯片的制造流程 1.2 基本半导体元器件结构 图1-3 由二极管、MOS场效应晶体管和电阻组成的SRAM电路图 1.2 基本半导体元器件结构 1.2.1 无源元件结构 1. 集成电路电阻的结构 图1-4 集成电路中电阻的结构 1.2 基本半导体元器件结构 图1-5 利用基区、发射区扩散形成电阻的结构 1.2 基本半导体元器件结构 图1-6 外延层电阻结构 1.2 基本半导体元器件结构 图1-7 MOS集成电路中的多晶硅电阻 1.2 基本半导体元器件结构 2.集成电路电容结构 图1-8 集成电路中电容的结构 1.2 基本半导体元器件结构 图1-9 PN结电容结构 1.2 基本半导体元器件结构 图1-10 MOS场效应晶体管电容结构 1.2 基本半导体元器件结构 1.2.2 有源器件结构 有源器件，如二极管和晶体管与无源元件在电子控制方式上 有很大差别，可以用于控制电流方向，放大小的信号，构成复杂的 电路。这些器件与电源相连时需要确定电极（+或- ）。工作时利用 了电子和空穴的流动。 1.二极管的结构 图1-11 集成电路中二极管的基本结构 1.2 基本半导体元器件结构 图1-12 集成电路中二极管的结构 1.2 基本半导体元器件结构 2. 晶体管的结构 图1-13 晶体管的基本结构 1.2 基本半导体元器件结构 3.场效应晶体管的结构 图1-14 MOS管的结构图和示意图 1.2 基本半导体元器件结构 4. CMOS结构 图1-15 CMOS反相器电路的电路图、顶视图和剖面图 1.3 半导体器件工艺的发展历史 图1-16 生长型晶体管生长示意图 1.3 半导体器件工艺的发展历史 图1-17 合金结结型晶体管示意图 1.3 半导体器件工艺的发展历史