高亮度热电子发射材料.pdfVIP

维普资讯 高亮度热电子发射材料 丰 学 丹 (浙江走学信 息与 电子I程 系) 主题；t热 电子发射 阴极材科 · 内容提委 对于 电子柬仪器．一方面需要高亮度．另一方面又需经常暴露于大气．因此磐须寻找适合的热电 子发射材料．分蹦介绍了稀土盒磷的硼亿物．过渡元素的碳化物和氮化物 的热发射特性．尧度特性和寿命等．因 、 其具有高熔点 低逸出功 稳定 的化学性和较高的 电导孪。从而得知LaBi和HfC是最理想的材料．最后指出． 薄膜 阴援 的寿命 问题需经进一步深入研究． 一 大型衷空 器，如电子显微镜，与LsI和VLsI加工有关的电子束微细加工仪器以及表面 分析仪器等 ，它们对于热电子发射源 (阴极)的要求是，一方面 由于高亮度 电子束的需要，要 求高的发射 电流密度 ，另一方面 由于需经常曝露大气。因此要求阴极在常温下，大气中 其 化学性稳定。由于后者的原 因，至今较多的仍采用发射 电流密度不高的钨阴极，而不能采用 通常在真空电子器件中用的较多的活性阴极，如氧化物阴极、钍钨阴极等。因此，_必须寻找 适用于上述仪器中的新的热电子发射材料 。 一 、 热 电乎裳射特性 热电子发射阴极是最早使用的一种 阴极。固定的热电子发射规律符合Richardson—Da shmarl公式，即发射 电流密度 J与材科的逸出功 ，被加热的温度T之间有下列关系 L=AT cxp (一e印／KT) 式中，e是电子的电荷量，K是渡尔兹曼常数，A为常数，其理论值 为120安 ／厘米 ·K 。 根据材料及表面状况等的不同，实铡值大多在lO 一1O安 ／厘米 ·。K 之间。 由上式可见，为了获得高的发射 电流密度的阴极，需选用具有低逸出功和高熔点的阴极 材料。考虑到胡极的寿命，它的工作温度T比熔点Tv要假得多。为了比较，我们取它的蒸汽 压为一定时 (例如 10 帕)的温度T作为工作温度 。从上式可见，决定J。大 小的主要是 比值 叩／T的数值，现令作F，我们称F为品质 因素。它可用来评价材料的热发射性能。显然，品 质因素愈高，则材料的热发射 电流密度愈大。即亮度愈高。 表 1列出了某些元素的热电子发射特性 表中括号中的T值是按65％的熔 点 值 计 算 所 得。从中可见，对于单质材料来说，Ta~NW是较好的发射材料。注意到表 中Cs的逸出 功最 低 ，但 因T 也很低，F值低，故它不是一种好的热电子发射材料 。 =，硼化物、碟化均和氮化物的热裳射特性 稀土元素的硼化物，过渡元素的碳化物和氮化物，它们具有共同的特点是具有较高的熔 +1988年12月9日收到 一 27— 维普资讯 ★ 1 单 质 Tv K‘) T (K) 0(电子伏) ~／T(eW K)x1118 sf 10l5 (679) 2．59 3．81 ～ Y 1775 ‘ (I15‘ 3．1o 2．66 Zr 2123 (1380)