高亮度电子束的热电子源.pdfVIP

维普资讯 ^ tv皇■■■ 在恶劣的环境中能更好工作的性质和限制阴 序 言 极工作寿命的因素。 通常认为热电子发射 领 域 是 成熟 工 第二章简要叙述了历史上使用过的各种 艺，然而近年来随着近代表面分析能力的提 形式的发射体。第三章讨论了近代大功率应 高，使人们对发射体表面的物理和化学性能 用对阴极的要求和所受到的限制 第四章介 有了更藻刻的了解，对热 电子源业 已作了一 绍了近代大功率应用 中 最 有 用 的 阴极 类 些重大改进 。图1说明了70年来这些器件发 型—— 扩散阴极 。扩散阴极中外加的活性 射能力所发生的变化 。示出的各种类型阴极 物质 (低功函数化合物)不断地从阴极基体 内 的电流密度至少有数千小时的工作寿命 。新 部向发射表面扩散。其中讨论了获得选种扩 近开发的钪酸盐阴极在器件 中的长寿命还未 散作用的制造工艺和不同形式的结构。第五 被证实。然而它在近摄 问距 离=摄管中， 章讨论了有前途的新型扩散阴极。这种新型 100A ／c111下能稳定地工作。从70年代 初 期 扩散阴极在发射表面上不仅有Ba和O，而且有 开始，就出现 了越来越多的改进型。 sc。第六章给出了电流密度大干10A／eraz的 最新发射数据和亮度数据还讨论了工作环境 对阴极性能的影响。第七章总结了不同发射 下这些阴极的预期寿命。 所介绍的阴极并不是市场上可 以买得到 的流行的阴极。然而这些原型的阴极已显示 出具有改进高亮度电子源性能的潜力。 1 发射体类型 时 闻 【． 有各种各样的热电子发射体，最熟悉的 图1 热阴极发射能力的历史回顾 类型是： 本文主要叙述了近代热电子滚的结构、 A 纯材料： 工作机理以及制造方法对作为热电子源的阴 a 难熔金属 (Jm钨) 极在应用上 (如 自由电子激光器、加 速 器， b 化合物 (如LaB日) 电子束照射系统和其他要求高亮度 电子束的 B 氧化物阴极 大功率器件)对性 能 的影响。重点叙述 了决 a 喷涂 (Ba，Sr、Ca的氧化物) 定 电子源亮度的那些阴极特性 以及使阴极能 b CPC(覆有Ni的氧化物粉) -- 50一 i ．． 真空电手技术 T9赔年 第5期 ． I‘ t 维普资讯 C 扩散阴极