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氟化类金刚石薄膜的研究进展.pdf
第 卷 第 期 真 空 科 学 与 技 术 学 报
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综述评论
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氟化类金刚石薄膜的研究进展
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张茹芝 刘贵昌 邓新绿
（ 大连理工大学化工学院； 大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室，大连 ）
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摘要 氟化类金刚石（ ）薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料。本文简述了 薄
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膜的结构、性能，重点介绍了其制备工艺，讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响。
关键词 氟化类金刚石（ ） 类金刚石（ ） 进展 沉积 性能
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中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ）
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