染色法测量N%2bN扩散结深的修正系数初探.pdfVIP

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2017-08-21 发布于安徽
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染色法测量N%2bN扩散结深的修正系数初探.pdf

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第二十五届中国(天津)2011。IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议染色法测量N+N扩散结深的修正系数初探李宝香石会平李丽 (天津中环半导体股份有限公司电话：022 摘要：本文采取化学染色法对硼、铝和磷杂质扩散形成的结深进行检测，通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性，选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液。同时采用扩展电阻法对同一批样品的结深进行测试．以扩展电阻法所得结果为标准，与染色法的测量结果进行对比，根据测试结果与理论分析，确定对染色法测试N+N扩散结深结果的修正系数。关键词：扩散结深染色液扩展电阻探针法 ToMeasure ofStainMethod PreliminaryRestudy TheDiffused—JunctionofN+N Depth Li Shi LiLi Huiping Baoxiang (TianJin SemiconductorJoint-StockTel：022-83726229300384) ZhongHuan Co．,Ltd this stainsolutionhadbe todeterminedthe of orderto Abstract：Inarticle，the apphed depthdiffused-junction，in the of differentconcentrationstainsolutionhadbetestedto and distinguishspecialityetching,the boron、aluminium whichone ordertoelectthe ofthestainsolutionthat controlled phosphorimpuritydiffused-junction，inproperly easy be resistance the andhave samebatch measured results， samples byspreading probe，compare goodrepetitiveness．The of test wetaketheresult resistanceforstandard．Calibrate depthby spreading probe diffused-junction and ofNN theresultofcolorationelicitthe coefficient depth diffused-junction． resistance Keywords：dmsed-junction；col