底平面相对晶界结的制作与特性.pdfVIP

底平面相对晶界结的制作和特性 杨涛，陈珂吴培钧陈烈 巾l珂科学院物理研究』ii超甘陶家霞点实验宦J￡京603信箱100080 J0069 +J儿i北大学物理系两北火学近f℃物理研究所埘安7 引 言 高温超导体强烈行向异性的电磁参数连同它极觚的相{二长度一起导致高话i超导约瑟 犬森结制作非常嘲难。就常规低温超导约瑟丈森结构综合性能看，夹芯结构的隧道结具 有最好：I艺町控性和最好使肘陛能。根据常规超导央芯结构隧道结的制作经验，所』ij电 极材料即要在平行于衬底甲丽的方向。L有承载较大超导电流的能力，还要求其在垂直于 电极表面的方向I二囱较氏的超导干H{二长度，显然对岛潞超导体来说是一个很难满足的苛 刻要求。但是高温超导体栽流能力较强的铜氧平面和祸合较弱(因而具有相对弱一点的 2—3rim，而 载流能力)的铜氧层问有着不同的柏于长度。劫平丽内其肃l干长度较长‰z c轴方向卜的相干长度稍短鼻；o3rim，因此如果我彳『J能在衬底平面内作出～个其构型 YBCOc／YBCO,。一YBCO。这样的结构，±：述要求在一定程度¨Ⅱ以得到满足。另一方面，台阶 边缘晶界结工艺控制的实际斟难在于对依赖j：衬底台阶角度共生在一起的(103)(103)} (0】0)(001)晶界没有一种有效方法能够将其分开，冈而缺乏对这两种品界输运性质差异 f．的理解和认识。这也是迄今为止人们甚至连台阶边缘品界结中到底足那种结构的品界 解仃阶边缘品界结连接性质的 个很好研究对象。根据高温超导薄膜的生长实验，在所 “盟皿 罔l含有d取向品粒薄膜襄IlIf的SEM照片和I它的X光衍射罔i}} ·第『1u崩全l叫超持甜腔‘j超导l也：i‘≯器仃。1；=：术会议沧艾绥· 明，膜；{，仍存在许多i，r能依赖rT：衬底表晒实际状况的微小结构，具，}·何。41破认为足“墩 向牛长的细长}}状品粒。有时这蝤针状品粒丌了以长得很久，在普通的光学碌微镜F就能 够观察到。圈1给出r这种含有较人针状品粉的c·取I∞薄膜SEM照片，0日时还给Hj，它 的X射线衍射图谱。我们看到在。取向薄膜的光滑背景F存舀：右棚_tfl垂直，其K边分别 与衬底的Iioo]或iOlOl而平行。针状品謇矗的典型尺寸约为5一10微米长．200纳米宽。 其x射线衍射图谱中仅仅存在两种衍射峰；很强的(001)蜂表明它是高度c取向的外延薄 ．t¨t＼ 膜，I呵依稀可见f19(hoo)峰表明膜内多少存在’些d取I勺，卜眨∞成份。据此我们认为膜内 那蝗针状，猪粒是口取向的。凶此这种弥敞在c·耿向薄膜c{z较大“取向晶粒给『，丫我们利 川其nc品界进行实验研究的机会。 二实 验 要将这种带有日墩向品粒的薄膜做成可以进行测!l}的样d6盘我们实验室现自_条什F 还存在一些问题，丰要困难在于缺乏可以进行亢接写刻的电子束爆光设备。而将_}}j-r常 规光剡：[艺中的光致抗蚀剂途敷在薄膜表匦以后要想看清这些晶粒巍非常l焘i难更小爆说 进行套刻操作。为了能够看清晶粒我们将光刻胶稀释并以甩胶台所能达到的最高转速均 胶以便得到尽可能薄的胶膜。Ⅲ这种简单方法我们成功的得到，颈缩一”仅含有‘个a取 向晶粒的微桥，图2给出了sEM拍摄的样品照片。微桥样品所Hj光刻板的尺寸为：桥长 『I∞印．轿宽Ⅳ=j岬。 幽2；分f．，，且上向t语枉微挢的S[／1I照p 三结果与讨论 的典型斤一7’天系小fq，电阻转变底部没有任何尾迹存在。我们推测这很可能与这种吐1c t疆界的界l撕状况囱火，}L其r0果JH