分布式全自动单晶硅生长炉控制系统研究.pdfVIP

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2017-08-20 发布于安徽
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分布式全自动单晶硅生长炉控制系统研究.pdf

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分布式全自动单晶硅生长炉控制系统的研究 TheResearchonDistributedFullyAutomatic SystemofMonocrystalSiliconCZGrower 吴保林祁晓野北京航空航天大学北京 [摘要]本文介绍了应用于单晶硅生长炉的分布式全自动控制系统，该系统能实现高精度的工艺控制。本文重点介绍了晶体生长工艺、系统控制方案、硬件及网络架构和软件。该系统适用于太阳能单晶硅的大规模工业化生产。 [关键词]太阳能;单晶硅;光伏效应;分布式控制 [Abstract]Thispaperintroducesadistributedfullyautomaticcontrolsystemdesignedtofulfill theprecisecontroltogrowthprocessofthemonocrystalsilicongrowers.Itfocuson thecrystalgrowthprocess,controlscheme,hardwareconstruction,networkarchi tectureandsoftwarefunctions.Thissystemmaymeetthedemandonlargescale industrializationandhighproductiveyieldofbulk-materialinsolarenergyapplica tions. [KeyWords]solarenergy;monocrystalsilicon;photovoltaiceffect;distributedcontrol ：，即硅单晶鸟做引晶。之石：持在高温负￡：为潜热环。！．料成本而、生严靠性是必要的前控制系统。，kllr：艺：1，口】j￡b，卜tIR精 I上rq压HJr1讯 }，所有的PL( 眵获取总线上、．、L亡rTTlJT-击芒堕陡用的长度测：来自伺服控匍 }脉冲电压提，：，f，小曲蚪E￡：NT2_CTR必匆 [作空间的开锊 §实现计数器趔：在界面设计方面！件要求较高，这竺