电弧法制备纳米ITO粉末烧结活性研究.pdfVIP

第七届中国纳米科技西安研讨会论文集 电弧法制备纳米IT0粉末烧结活性的研究 薛建强：Ic王政红张秀勤邢朋飞 (中固船舶重工集团公司第725研究所洛阳两苑路2l号471039) Tin 摘要：本文通过对纳米IT0(Indium 影响，并说明了电弧法制备的纳米IT0粉末具有很高的烧结活性，可以制备出高质量的IT0靶材． 关键词：铟锡氧化物纳米粉末差热分析 Abstract：Inthis effectofratiooflawandheated on were activeness paper,the powdersintering analyzed, the resultsof ITOnanometerlike and itwas usingmeasuring powderDTA，XRDSEM．Moreover,the mentionedthatITOnanometermadeelectricarcmethodhave Canbe activeness，and powdersby goodsimering usedtOfabricate high-quaLitytargets． Powder、DTA Keywords：ITO、Nanometer 一刖禹 ITO薄膜以其优异的可见光透过性、红外反射性和高的导电性能，而成为应用最为广泛的透明导电薄 靶材的关键原料哺’．国内的ITo粉末大都是采用化学液相法来合成，这种方法则存在杂质含量高、分散性 差和污染环境等缺点。洛阳725船舶材料研究所采用电弧法制备的纳米ITo粉末具有晶粒细小均匀。纯度 高，分散性好的优点H’。本文通过对电弧法制备的不同状态的纳米ITO粉末DTA的分析以及XRD和S酬的 结果，解释了电弧爆破法制备的纳米IT0粉末具有很高的烧结活性，通过不同的生熟比例可以控制IT0靶 材晶粒的尺寸。而制得高质量的ITO靶材。 二实验过程 采用电弧法制备IT0粉末，直接制备的粉末称为生粉，生粉在1100℃下保温热处理l小时，破碎后过 仪测试粉末的比表面积：在STA449c综合热分析仪上测试粉末的差热曲线，温度范围为室温到1400度。 MPD 升温速率10℃／rain；在X’pert 得到靶材的S翻。 三结果与讨论 3．1比表面积测试分析 图l为不同生／熟比例ITO粉末的比表面积。随着熟粉含量的增大，由原来的全生粉比表面的21．1m3／g。 降低为全熟粉比表面积的0．3 m3／g，而且这种降低近似呈线性关系。 一6，E一．f々L￡。。兰k，t．1I．I=。盘z ● lO ●0 ●● ●口 ’口0 Cnntentofh口^tedpo-der( ，‘) 图l不同留熟比例ITO粉末的比表面积 闺2 nl；o各辜DTA【lfi线和热失重TG曲线 surfaceagc．aofsevezal1TO cIlnreaadTG∞n，e Fig．1Specific powder 嚣暑工n把DTA