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Si基底上直接电沉积Fe-Ni合金薄膜的研究.pdf
RareMetalMaterialsandEngineering Availableonlineatwww.sciencedirect.corn
Volume43,Issue12,December2014 嘲
~
OnlineEnglisheditionoftheChineselanguagejournal 辩 ScienceDirect
DirectElectrodeposition ofFe-NiAlloy Films on Silicon
Substrate
LiuYichun, ZhangJiamin, YanJikang, DuJinghong, GanGuoyou, YiJianhong
KunmingUniversityofScienceandTechnology,Kunming650093,Chma
Abstract:ThedirectelectroplatingofFe·Nialloyfilmsonto(100)n—typeSisubstrateswereconducted.Theelec打odeposition
phases,thefilm structureandtheperformancewereinvestigated.Theresultsshowhtatwhenhtem~-rentdensityisabove1.0A/dm2
,
continuousfilmsareformedand show an anomalousco-depositionprogressOccurs.When filmsarepreparedwiththecurrent
densityfrom 1.0to4.0A/dm thenickelcompositioncanbeadjustedfrom45%to78% (massrfaction),andthecorresponding
currentefficienciesarerfom about60% to66%.Thefilmsconsistingof10-30nm nanocrystallitesshow thefccstructureofsolid
solutionofFe-Ni.Themagnetichystersisloopsofthealloyfilmsexhibitahighersaturationmagnetizationandaverylowcoercive
filedapproachingzero,indicatingthatnanosizedalloyfilmshavevery goodsoftmagneticperformance.
Keywords:Fe—Nialloyfilm;electrodepositing;siliconsubstrate;magneticproperties
Becauseofgoodmagneticperformanceandlow thermal increasingchanceofcoalescenceofthenuclei,thenresulting
expansion coefficient.Fe—Nialloysarewidelyused inthe inthefomr ationofacontinuousfilmj【J_Fe.Nialloyfilmswith
electronic industry,aerospaceindustry,mechani
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