不同高浓度气体对金刚石薄膜制备的影响.pdfVIP

第 31卷第4期 硬 质 合 金 2014年 9月 Vol3l No．4 CEMENTED CARBlDE Sep．2014 业 业 工艺技术 恭 芥 芥 恭 doi：10．39690．issn．1003-7292．2014．04．006 不同高浓度气体对金刚石薄膜制备的影响 张 莹 汪建华 熊礼威 吕 琳 (武汉工程大学材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉 430073) 摘 要 采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)法 ，分别制备 了CHdH：体系、CHd HJN体系 以及 CHillJAr体系金刚石薄膜 。主要采用 了扫描电子显微镜(SEM)、激光拉 曼光谱(Raman)和x射线衍射光谱 (XRD)等方法对不同体系中制备的金刚石薄膜的晶 粒尺寸及其品质进行 了分析 ，研究了不同高浓度气体对金刚石薄膜的影响。结果显示 ： 利用高浓度 的甲烷可以在很大程度上细化晶粒 ，制备 出纳米 晶金刚石薄膜 ，但是薄膜 的非晶相较 多，品质下降；加入 70％N，薄膜中的金 刚石 晶粒生长速度较慢 ，但可制备出 均匀的纳米晶金刚石薄膜 ；70％的Ar气氛 中，金刚石 晶粒生长较快，制得的薄膜 中的金 刚石晶粒是微米级别的。 关键词 微波等离子体 ；化学气相沉积 ；金 刚石薄膜 ；氮气 ；氩气 Influenceofdifferentgaseswithhighconcentrationonpreparationofdiamondfilm ZhangYinf WangJianhua XiongLiweiLvLin (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，WuhanInstituteofTechnology， ProvincialKeyLaboratoryofPlasmaChemistryandAdvancedMaterials，WuhanHubei430073，China) ABSTRACT ThediamondfilmswerepreparedrespectivelyinCHJH2system，CHdttJN2systemandCHJHJArsystemby microwaveplasmachemicalvapordeposition (MPCVD1method．Thegrainsizeandqualityofthediamondfilmspreparedin differentsystemsweredetectedbyusingscanningelectronmicroscope(SEM)，laserramanspectroscopy(Raman)andX—ray diffractionf)(RD)methods，andtheinfiunceofdifferentgaseswithhighconcentrationonthepreparationofthediamondfilm wasstudied．Theresultsshow thatthemethanewith high concentrationcan tremendouslyrefine thegrain size ofthe diamondfilms；doping70％ nitrogenleadstothepreparationofnano—crystallinediamondfilm，butmanyamorphousphases exist，thequalityofthefilm reduces；inthecaseofdoping70