- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第43卷 第 11期 人 工 晶 体 学 报 Vo1.43 No.11
2014年 11月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS November.2014
射频功率对 Si薄膜微观结构及 电学性能的影响
郝 娟,蒋百灵,杨 超,董 丹,张彤晖
(西安理3-大学材料科学与工程学院,西安 710048)
摘要:采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了不同射频功率的si薄膜,并对其进行真空退火处理。研
究了射频功率和退火处理对薄膜微观结构和电学性能的影响,并总结了不同电场环境对薄膜原子排列有序度的影
响规律。结果表明:随射频功率的增加,si薄膜的非晶结构无实质改变,但其少子寿命明显增强;经800oC真空退
火处理后,si薄膜的微观结构均由非晶态转变为晶态,晶化程度达60%以上 ,且少子寿命达到20 s以上。
关键词:Si薄膜;射频功率;微观结构;少子寿命
中图分类号:TB321 文献标识码:A 文章编号:1000-985X(2014)11-2835-05
hlnuenceofRF PoweronM icrostructureand
ElectricalPropertiesofSiThinFilms
HAOJuan,JIANGBai—ling,YANGChao,DONGDan,ZHANG ng—hui
(SchoolofMaterialsScienceandEngineering,Xj肋,UniversityofTechnology,Xian710048,China)
(Received4July2014,acceptedlAugust2014)
Abstract:A seriesofsithinfilmsweredepositedbytheplasma—enhancedchemicalvapordeposition
(PECVD)underdifferentRFpowers,andthenannealedinvacuum.TheinfluenceofRFpowerand
annexingtreatmentonthemicrostructureandelectricalpropertiesofthefilm wasinvestigated.Theeffect
ofdifferentelectric field environmentson theorderdegreeofthepartialarrangementofSiatomswas
summarizedinthiswork.Theresultsshow thatastheRFpowerincreased.theamorphousstructureofSi
filmshadnoessentialdifferencewhilethe lifetimeoftheminoritycarrierincreasedapparently.After
annealingat800 oC,themicrostructureofSifilmstransformed from amorphoustocrystalline andthe
,
degreeofcrystallizationwasmorethan60% .Thelifetimeoftheminoritycarrierreachedover20 s.
Keywords:sithinfilm;RFpower;microstructure;lifetimeofminoritycarrier
1 引 言
目前,晶体si是太阳能电池市场的主要阵营。但
您可能关注的文档
- SrTiO3薄膜电致电阻调制机理的研究进展.pdf
- Structural, optical and electrical properties of zinc oxide thin films deposited by a spray pyrolysis technique.pdf
- TAC薄膜生产过程中湿膜剥离问题技术探讨.pdf
- TBPB-TBPO引发不饱和聚酯树脂固化的动力学.pdf
- TBPBTBPO引发不饱和聚酯树脂固化动力学研究.pdf
- TCO玻璃用AZO靶材的研究.pdf
- TFTTP作为阴极缓冲层提高有机薄膜太阳能电池的内建电场和载流子收集效率.pdf
- TG对大豆蛋白PVA复合膜透湿性、透气性影响研究.pdf
- THE DYNAMICAL BEHAVIOR ON THE CARRYING SIMPLEX OF A THREE-DIMENSIONAL COMPETITIVE SYSTEM II. HYPERBOLIC STRUCTURE SATURATION.pdf
- TiAlON膜的研究现状与进展.pdf
- 四川省郫县一中2014-2015学年高二12月月考地理试题word版含答案.doc
- 山东省淄博七中2015届高三上学期期中考试物理试题word版含解析.doc
- 恒电位法电沉积聚8-羟基喹咻薄膜.pdf
- 山东省潍坊市2015届高三上学期期中考试化学试题word版含答案.doc
- 江苏省苏州市2015届高三数学必过关题(逐题解析)——新增内容.doc
- 春棚多层架床蒜苗栽培.pdf
- 江苏省连云港市赣榆县海头高级中学2015届高三上学期期中考试化学试题word版含答案.doc
- 晋西黄土丘陵区不同植物群落的土壤分形特征.pdf
- 江苏省连云港市赣榆县海头高级中学2015届高三上学期期中考试历史试题word版含答案.doc
- 江苏省连云港市赣榆县海头高级中学2015届高三上学期期中考试地理试题word版含答案.doc
文档评论(0)