氧化钨氧化钛溶胶凝胶薄膜的气体感测性质研究.pdfVIP

第 9 卷增刊2 过 程 工 程 学 报 Vol.9 Suppl. No.2 2009 年 9月 The Chin ese Journal of Process Engin eering Sept. 2009 氧化钨/ 氧化钛溶胶凝胶薄膜的气体感测性质研究 1 1 1 1 2 3 1 郑锦华 ， 蔡健益 ， 陈锦毅 ， 林弘斌 ， 苏程裕 ， 林鸿明 ， 林中魁 ( 1. 逢 甲大学材料科学与工程学系 ，台湾 台中 407 ；2. 台北科技大学机械系，台湾 台北 106 ；3. 大 同大学材料工程学系，台湾 台北 104 摘 要：在氧化钨溶凝胶中，添加 10% 的二氧化钛溶凝胶，煅烧后可得形成氧化钨/氧化钛复合粉体 . 所得粉体，以 XRD 、SEM 、FT-IR 、光学特性分析等仪器进行粉体的基本性质与结构检测. 随后将氧化钨/ 氧化钛复合粉末包覆于气 体感测电极上，进行气体感测的各种相关检测与分析. 结果显示，添加 10 .0%氧化钛的氧化钨/ 氧化钛，由 100 ℃ 的 ε-WO 单斜晶结构，随着热处理温度达到 300 ℃，缓慢转变成三斜晶的 δ-WO . 比较不同参数的粉体，添加 10.0%氧 3 3 化钛的氧化钨/氧化钛具有较优异感测性质；在 200 ℃，3 ×10−6 的 NO2 下，灵敏度为 29.9. 而在 150 ℃，相同浓度下， 有最佳灵敏度为 86.1. 关键词：溶凝胶；氧化钨；二氧化钛；复合材料；气体传感器 中图分类号：O646 文献标识码：A 文章编号：1009−606X (2009 S2−0035−04 理后得氧化钨气体传感器，以 SEM 来观察其镀膜于氧 1 前 言 化铝基板上的表面型态与晶粒尺寸，进而进行完整气体 近年来环保意识的抬头，对于空气污染的防治，为 感测的各种相关检测与分析. 最主要的研究 目标. 低浓度有毒气体 的侦测，以二氧化 2 实 验 氮为例，NO2 有刺激性臭味，会刺激眼鼻和肺部，引发 气管炎、肺炎，并降低呼吸道感染的抵抗能力，发生感 2. 1 溶凝胶制程 冒症状；此外，NO 与水反应会产生硝酸与一氧化氮， 先量取 0.752 mL H O，9.137 mL C H OH ，2.887 mL 2 2 2 5 造成人体皮肤的接触性溃烂，因此发展高效能的气体传 HNO 均匀搅拌 10 min ，制作氧化钛溶胶部分；量取 7.52 3 感器愈来愈受重视[1]. mL 四丁氧基钛[Ti(OCH H ]与 10 mL C H OH 均匀搅