氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究.pdfVIP

第38卷 第6期 激 光 技 术 Vo1．38．No．6 2014年 11月 LASER TECHNOLOGY November，2014 文章编号：1001—3806(2014)06．0845—03 氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究 秦玉伟 (渭南师范学院物理与电气工程学院，渭南 714000) 摘要：为了实现对氧化锌薄膜的厚度测量，采用光学相干层析成像的方法进行了理论分析和实验验证 ，获得 了含厚度信息的1维深度图像和含内部结构信息的2维层析图像。结果表明，该方法测得的薄膜厚度值与理论值 一 致。该研究说明谱域光学相干层析成像技术的测量结果真实有效，可以用于薄膜的厚度测量和质量检测。 关键词：测量与计量；薄膜；检测 ；光学相干层析成像 中图分类号：TN247 文献标志码 ：A doi：10．7510／jgjs．issn．1001—3806．2014．06．026 Studyon opticalcoherencetomographydetectionofZnO film QINYuwei (SchoolofPhysicsandElectricalEngineering，WeinanNormalUniversity，Weinan714000，China) Abstract：InordertomeasurethethicknessofZnOfilm，opticalcoherencetomography(OCT)techniquewasused fortheoreticanalysisandexperimentalverification．The1一Ddepthimageincludingthicknessinfomr ationandthe2-Dcross— sectionalimageincludingstructureinfomr ationwereobtainedsimultaneously．Theresultsshow thatthemeasuringresultis almostassameasthetheoreticalvalue． Itisillustrated thatthemeasurementofthespectral—domain OCT isrealand effective．Itcanbeusedofrthemeasurementofthicknessandqualityofthefilm． Keywords：measurementandmetrology；film；detection；optical coherencetomography graphy，OCT)是一种非接触、非侵入、无损伤的高分 引 言 辨率光学成像技术 J。自1991年 HUANG等人在 氧化锌薄膜是一种应用广泛的材料，具有优异 Science发表 了 “Opticalcoherencetomography”一文 的光电性能，主要用作太阳能电池的透明电极。氧 以来，OCT技术得到了迅速发展，成功应用于眼科 化锌作为玻璃窗的热反射涂层，可以增加建筑物的 学的临床诊断，并拓宽至珠宝以及其它材料检测等 能量利用率；也可用作紫外光阻挡层有害紫外线辐 诸多工业领域 J。OCT利用低相干干涉仪，通过 射。此外，氧化锌薄膜具有 良好的压电性能，可以作 分析来 自物体 内部不同位置处的后向散射光，实现 为压电薄膜，应用于压电传感器领域 J。氧化锌薄