磁控溅射制备Er^3＋Yb^3＋共掺杂TiO2薄膜的上转换发光特性.pdfVIP

物 理 学报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．8(2014) 087803 磁控溅射制备Er3+／Yb3+共掺杂TiO2薄膜的 上转换发光特性术 毛鑫光 王俊 沈杰十 (复旦大学材料科学系，上海 200433) (2013年10月31日收到；2014年1月6日收到修改稿) 采用射频磁控溅射法制备得到Er。+／Yb。+共掺杂TiO2薄膜，在980nm的抽运源作用下上转换可以得 到490nm 的绿光和670nm 的红光．上转换红、绿光发光强度受到烧绿石ErYb2一Ti207晶体的生成 以及 Er。+／Yb。+掺杂浓度的影响．实验表明，适量共掺杂Er。+／Yb。+可明显增强上转换发光．Er。+在上转换发 光中起主要作用，而引入敏化离子Yb。+可 以大大提高上转换发光效率．磁控溅射法制备的Ti02薄膜声子态 密度较小，从而抑制了无辐射跃迁过程，导致490nm绿光形成 以及红光强度大于绿光强度 ． 关键词：上转换发光，TiO2薄膜，Er。+／Yb。+共掺杂，溅射 PACS：78．55．一m，78．66．_W，76．30．Kg，81．15．Cd DOI：10．7498／aps．63．087803 转换发光基质材料 [12,13]．Desirena等 [14]在碲酸 1 引 言 盐玻璃TeO2ZnOLi2OLa2O里共掺Er0+／Yb。+在 980nm激光激发下，观察到 良好的上转换发光． Georgescu等 [15]在La3Ga55Ta0 稀土离子掺杂的上转换发光材料因其具有 良 ． ． 5O14玻璃里掺杂 好的发光特性而受到了广泛关注．目前，稀土离 了Er3+／Yb0+在973nm激光激发下，观察到绿色、 子掺杂的上转换发光材料应用于光纤通信、数据 红色、蓝色和紫色的上转换发光．郑龙江等 [16]采用 存储等方面的光学器件 [1】’也可应用于固态激光 高温固相法制备了Tm3+／Yb3+共掺CaWO4多晶 器 2【]以及太阳能电池 0【，】等器件．Er3+因具有 良 材料，在980nm激光器激发下观测到蓝色和红色 好的电子构型和丰富的能级使其成为上转换发 的上转换发光． 光材料的首选，Er3+对980nm的红外光有 良好的 近年来，稀土离子掺杂的上转换发光材料除了 吸收和转换效率．研究表 明，掺杂敏化离子可 以 粉末 [17]和玻璃 [18]外，薄膜 [19]由于其优 良的机械 大幅增加上转换发光强度，稀土离子Yb0+不仅 性能，易于和微 电子、光 电子等器件集成而受到重 应用在Ho3+／yb3+共掺杂体系 [5-7】，而且在作为 视．例如，目前的硅太阳能电池主要吸收可见光而 Er3+的敏化离子时在980nm处有较大的吸收截 很少吸收红外光导致太阳红外光部分能量未被利 面，同时可以将吸收到的能量传递给Er3-卜，所以 用，加一层上转换薄膜则可将红外光转为可见光而 yb3+通常也被用作Er3+的敏化离子来提高上转 被硅吸收，从而进一步提升电池效率 4[]．目前制备 换发光效率 [8--11】．稀土离子掺杂产生上转换发 上转换发光薄膜 的报道还很少，使用方法为溶胶凝 光离不开基质材料，目前主要用作基质材料的有 胶法 [2o]和脉冲激光溅射法 [21]，而磁控溅射法制备 氟化物、氧化物和氯化物，氧化物因具有相对较低 上转换发光薄膜