多晶硅生产过程分析整体方案.pdfVIP

第 3期 中国氯碱 No．3 14 2010年 3月 ChinaChlor—Alkali Mat．．2010 多晶硅生产过程分析整体方案 朱端 明 ，徐锦庭 ，郑修琴 (1．徐州化工设计研究院有限公司，江苏 徐州 221007； 2．江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏 徐州 221004； 3．聚光科技 (杭州)有限公司，浙江 杭州 310052) 摘 要 ：从工艺控制 、腐蚀防护、安全监控 、环保监测等方面阐述 了多晶硅生产过程分析的必要性；并 提 出了过程分析的整体方案。 关键词 ：多晶硅；过程分析；光谱分析 ；气体监测报警仪 中图分类号：TQ127．2 文献标识码 ：B 文章编号：1009-1785(2010)03—0014—03 W holeschemeofproductionprocessanalysisof polycrystallinesilicon ZHUDutm-min~，XUJin-tin~2,ZHENGXiu-qin (1．XuzhouChemicalIndustryDesignResearchInstituteCo．，Ltd．，Xuzhou221007，China； 2．JiangsuZhongnengPolysiliconTechnologyCo．，Ltd．，Xuzhou221040 ，China； 3．JuguangTechnoloyg (Hangzhou)Co．，Ltd．，Hangzhou310052，China) Abstract：Thenecessityofanalysisofpolycrystallinesiliconproductionprocesswasdiscussedfrom several aspects，includingprocesscontrol，corrosionprotection，andsafetymonitoringandenvironmentmoniotring． Thewholeschemeofproductionprocesswasputforward． Keywords：polycrystallinesilicon；processanalysis；spectroanalysis；gasdetectionandalarm device 1 多晶硅生产工艺 2 过程分析的必要性 多晶硅生产技术多种多样 ，但其核心技术仍掌 2。1 工艺控制 握在美国、德国、日本等少数 国家手 中，国内外现有 多晶硅产品纯度要求极高，这是多晶硅生产最 的多晶硅生产企业绝大部分采用改 良西门子法生产 主要的特点，否则无法生产半导体多晶硅 ，为保证产 电子级与太阳能级多晶硅。 品的质量．从原料开始就要严格把关。首先必须保证 改 良西门子法一闭环式三氯氢硅氢还原法是用 原料的纯度，为加强分析检测，一般采用光谱、极谱、 氯气和氢气合成氯化氢 ，氯化氢和工业硅粉在一定 质谱和气相色谱等分析手段进行检测。 的温度下合成三氯氢硅 ，然后对三氯氢硅进行分离 原材料利用率是影响多晶硅企业生产成本的重 精馏提纯 ．提纯后 的三氯氢硅在氢还原炉内进行 要因素，合理控制合成反应原料比例，可以节约原料 CVD反应生产高纯多晶硅。 和提高生产效率。 多晶硅企业生产过程中存在大量易燃 、易爆、有 在西门子改 良法多晶硅生产工艺中，