新型DR1%2fSiO2、DCM%2fSiO2有机%2f无机复合材料电光调制器件研究的论文.pdfVIP

新型DRl／Si02、DCM／Si02有机／无机 复合材料电光调制器件研究 胡婧婷，邱静燕，徐雷，刘丽英 复壁大学信息学院光科学sI程系。200433 摘要： 作为光通信领域的关键器件，电光调制器已经在信：息产业和军事领域得到 了广泛的应用。目前报道的商用电光调制器主要使用LiNb03晶体、GaAs以及 InP半导体等无机材料，但其电光系数较低、响应速度慢、制备工艺复杂、成本 高，特别是介电常数高导致的微波与光波速度失配问题制约了调制速度的进一步 提高。近年来开展的基于聚合物材料的电光调制器的实验室研制也取得了一定进 展，将有机生色团分子通过掺杂或键连的方式混合入聚合物中，经过极化取向产 生二阶光学非线性效应，具有电光系数高、响应速度快、介电常数低等优点。但 同时这类材料也存在热稳定性差、插入损耗大、机械强度低等一系列问题，难以 实现实用化目标。 近期，一种将生色团分子键连入无机基质网络中制备出的有栅无机复合电 光材料引起了关注。这种材料兼具了无机材料的热稳定性高、机械强度高以及有 机材料的电光系数高、响应速度快、介电常数低等优点，并且制备工艺简单、成 本低廉，显示出良好的应用前景。 我们利用溶胶．凝胶法将DRl分子和DCM分子通过水解．缩聚反应分别键连 ITO玻璃上成膜，利用实时的电晕极化光学二次谐波产生(sHG)方法观察薄膜的 光学二阶非线性效应随温度的变化。对于在真空条件下预烘1600C、4h的样品， 升温过程中在1200(2时得到最大信号，继续升温至1600C时信号下降到最大值的 1／4左右，在1600C保持30rain，信号随时间基本不变，随后在降温过程中信号 不断增大至1200C时的2倍左右，最后冷却至室温。我flJu伍仟i口12口1表面蒸镀铝膜 ， ， 作为电极，利用简单反射法测得DRI／Si02的电光系数扔3为8．2pm／V。 在此基础上，我们设计并制备了倒脊型结构的条波导器件。在硅片上旋涂 Si02／Z她薄膜作为下包层，通过光刻工艺制作出长方形凹槽，将DRI／Si02和 DCM／SiOl2填充入凹槽形成倒脊型波导，再旋涂Si02／Z内2薄膜作为上包层，表 面蒸镀铝膜。通过平板极化方法对光波导进行极化，极化条件为：外加电场约 100 am rain后降至室温。在1550 V／}tm，以100C／rain的速度升温至1600C保持30 波长下，测得DRl／Si02和DCM／Si02的波导器件电光系数丫33分别为2．2pm／V和 2．98 ClTI的DCM／Si02电光器件，测量了其半波电压。 pm／V。对调制区域长2 综上所述，我们利用溶胶．凝胶法制备了有机／无机复合材料光波导，通过热 辅助的平板电场极化诱导出光学二阶非线性效应，并进而制备了条波导电光调制 器，测量了器件的电光调制效果。 关键字：电光调制有机／无机复合材料 溶胶．凝胶法 使用组合检偏器的椭圆偏振态并行测量方法研究 毛鹏辉，郑玉祥‘，陈岳瑞，蔡清元，张荣君，陈良尧‘ 复旦大学，先进光子学材料和器件重点实验室，光科学与工程系，上海，200433 旋转偏振器的光度式椭偏仪具有较高的测量精度，但由于存在旋转部件。将难以缩短椭 偏参数的测爱时间。基丁旋转检偏器的椭偏测量原理，在本工作中采用多个微型检偏晶体， 按不同偏振方位角排列，制成组合式检偏器，替代了传统可旋转的单一检偏晶体，使整个椭 偏测量过程无任何机械位移部件，在满足测量精度的同时显著提两了测量速度，将可应用于 薄膜生长过程等实时光学监控场合。 在研制的实验系统中，起偏器的方位角被固定在450，12个微型检偏晶体的尺寸为 1．5mmxl．5mmx4mm，以相隔约150的方位角被置放于专门设计和加工好的金属工件中，形 成了组合式的检偏晶体。入射光被样品反射后，其偏振态发生了改变，再通过12个组合检 偏器入射到二维CCD探