新型多级弯曲磁微执行器与其吸合效应研究.pdfVIP

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2017-08-20 发布于安徽
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新型多级弯曲磁微执行器与其吸合效应研究.pdf

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⑧}嘲 2007控制科学与工程全国博士生学术论坛 2007年8月新型多级弯曲磁微执行器及其吸合效应研究郭永献1，贾建援，张大兴，王卫东 (西安电子科技大学机电工程学院，陕西，西安710071) 摘要： MEMS(射频微机电系统)开关消除不稳定吸合效应是许多徼执行器固有的不稳定现象，本文基于RF 性的方法以及多层悬臂梁概念，综合设计了一种新型多级弯曲磁徼执行器，分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对新模型的吸合现象进行了研究。计算及仿真结果表明：磁动势控制模型中，当所串联的气隙h鼬b=o时，漏磁阻且hbzO．2790时新模型的吸合现象消失(90为上下执行磁极的初始间隙)；考虑漏磁阻时，ePI随ht或hb的增大而增大，随漏磁阻Rf减小而增大。磁通控制理想模型中无论是否考虑漏磁，固定气隙ht和hb都对临界吸合角度无影响，ePI／ema)(≈72．3％。关键词： MEMS；多级弯曲磁微执行器；吸合效应 OfthePU¨一inEffbCtOfanew MUItileVeIMeander AnaIysjS type MiCrOactuatOr MagnetiC GUO Jian-yuan，ZHANG Yong．xianl，JIA Da—xing，WANGWei．dong ofElectm-Mechanical China) (School Enginee咖g，Xidi锄UniverSity，Sh锄xi，Xi’狮710071 Abstract：I～ll-inefrect inherent of for isan characteristicinstabilityinm锄ymicmactuatorS．B船edonthemetllodeliminating tIle micro-electm·mech锄icalandⅡle instabil时ofRFMEMS(Radi0-fkquency systems)switchesconc印tofmum-layerc锄tiIever， anewofmultileVeImeandcr micmactuator to type tlle magnetic w鹊designed．According t11e model锄dnux·contmlled oft11enewmicroa咖atorwefestudied．Calculatjonsandsimulations model，t11epull-inphenomena 咒sults tIlatundertheconditionofttIeMMF·con廿0lled t11icl(Ilessoft11efixedhtaIldhbis isno sug萨st model，、v}I锄tIle gap O，tllere innuenceof thecritical ofePIisabout44％of ePl，锄dmevalue em戤，which leaked-ma印eto．I℃sist孤ce(