3Cr13不锈钢基底上DLC膜牢固度地研究.pdfVIP

|‘卉届奎一表面工程学术套设 兰州20嘶年B月 3Crl3不锈钢基底上DLC膜牢固度的研究 苗树翻 严一心 (西安工业大学光电工程学院，西安710032) 摘要：利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Crl3；不锈钢衬底上制备厚度lim类金刚石薄膜。分别使 用Ti，TiN做过渡层来研究类金刚石膜的附着力及硬度问题．采用划痕仪测试了薄膜与不锈钢基底 分离出来，得到了硬度，附着力与膜层闻的关系，并对试验结果进行了理论解释．结果表E：Ti过渡 层的引入明显的改善了膜与不锈钢之间的结合强度． 关键词：类金刚石薄膜，硬度，附着力，过渡层 1．引言 类金刚石薄膜(DLC)具有高硬度、低摩擦系数、耐磨性能好等一系列优越的机械和化学性能， 具有很大的研究价值和广泛的应用前景，近年来引起了科学界极大的兴趣“1J。已在切削刀具、光 学元件、计算机磁头保护和生物医学等诸多领域中取得了很大进展”．7J。 。类金刚石薄膜(DLC)的硬度提高有赖于s，键比例的提高，但这将使共价键的碳原子平均配 位数也相应提高，不可避免地使薄膜结构处于过约束状态，产生很大的内应力高达1．5G}pa，使其 易于从衬底表面爆裂或脱落”1。特别是在金属衬底材料表面的附着，由于存在着不同的热膨胀系数 和界面原子的亲和性能等方面的因素的影响，使之往往不易保持良好的附着，尤其是当DLC膜厚度 n m肘，其牢固度较差。因此如何适当选择工艺条件，同时提高薄膜硬度和对衬底表面的附着强 度，成了DLC膜在机械和材料表面保护等方面应用的关键性技术问题。已有人采用过不同的金属 些方法制备出的DLC膜性能有很大差异。 2．试验方法及设备 2．1试验设备 图1所示为6Aj电芭A．14301型脉冲真空电弧离子镀设备示意图，该设备主要包括两部分，脉 冲电弧离子源，用于制备DCL膜，带磁过滤的直流电弧离子源，用于制备Tj或TiN膜。试样规格 做过渡层在不锈钢基底上制备DLC膜。脉冲真空电弧离子源．它利用冷阴极真空电弧放电，使阴 极材料(由被蒸发的材料制成)蒸发并电离，形成等离子 1一真空室2一偏转线圈3-{tE阴极4一钛靶电源5 一聚焦线圈6一石墨阴极7一感应线圈8一石墨靶电 源9一储能电容10-Rogovsky线圈1l一示波器12 一石墨阳极13一基底14一脉冲电压表 图1yBHH兀A一1—100型等离子体镀膜机结构 示意固 体。等离子体在工件上形成膜层并维持着电弧放电。带磁过滤的直流电弧离子源，蒸镀时，由于放 第六届垒-Iil表面I程学术会议 兰州 2006年8月 ● 电，从而使阴极材料蒸发并电离，形成金属等离子体。这些金属等离子体一方面维持着电弧放电 另一方面带电离子受磁场的作用偏转900在基底上成膜(3-件)上形成镀层。 3．结果与讨论 3．1附着力测试 薄膜的应力按性质可分为压应力和拉应力。薄膜在压应力的作用下，薄膜内部有向表面扩展的 趋势，薄膜的压应力大于膜基附着力时，压应力可能使薄膜起皱，崩落。薄膜在拉应力的作用下， 薄膜自身有收缩的趋势，若拉应力超过了薄膜的弹性限度，薄膜则会产生开裂，甚至脱落。一般来 说，人们比较希望得到压应力膜，而不是希望得到拉应力膜。 研究附着力时分别采用Ti．1Ⅲ作过渡层，再在其上沉积类金刚石薄膜(DLC)来研究过渡层5ejDLC 薄膜附着力的影响。 (1)厚度不同的Tj做过渡层对DLC薄膜附着力的影响； 表l DLC薄膜附着力的比较 编号 膜层结构 砸沉积时间(rain)DLC讥积脉冲个数(个)