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第 卷 专辑 稀 有 金 属
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含钇螯合物制备及感光性研究!
赵高扬 ,张黄莉,薛人中
(西安理工大学材料科学与工程学院,陕西西安 )
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摘要:以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶 凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜。研究了
这种凝胶膜的紫外、红外光谱特性,发现了在’’# () 处有与含钇螯合物相关的吸收峰,这种凝胶薄膜对紫外光具有感光特性,即当紫外光照
射薄膜后,含钇螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含钇螯合物分解。伴随着螯合物的分解,薄膜在有机溶剂中的溶解性会发生显著变化,利用
这种特性,紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜,用有机溶剂溶洗后获得凝胶薄膜的微细图形;经过 *## + 热处理’# ),( ,得到了具有立方相氧化
钇薄膜的微细图形。
关键词:溶胶 凝胶法;含钇螯合物;化学修饰;微细图形
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
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自34,55)6( 发现用紫外光可激发某些具有共 B =/; C B 的比例混合,搅拌得到无色的 9 D
轭体系的有机配体稀土配合物而发出稀土离子的 溶胶 ,作为制备薄膜的前驱溶胶;溶胶凝胶
=/ :
特征荧光,稀土有机螯合物的发光性能及应用一 法制备薄膜的工艺流程如图 所示。
直引起人们广泛的研究兴趣。在常用的有机配体 80 薄膜与微细图形的制备
中, 酮类化合物是一类良好的金属螯合剂,其与 采用提拉法分别在衬底如石英、硅基板上制
!
钇离子形成的配合物具有稳定的化学性质和优异 备9 D =/ 凝胶薄膜,以 ;4:E 紫外激光器(波长
[ ] 2 0
7 $ 为 )作为紫外光源( · ),照射
的发光性能,因而具有广泛应用前景 。 ’01 () # 8 0 )3 ))
凝胶薄膜。图 显示了 凝胶薄膜微
含钇螯合物的另一个应用是制备高温超导材 9 D =/ 0 9 D =/
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