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影响有阀微泵性能的主要因素研究 鲍志勇 王蔚刘晓为 王喜莲 150001 哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨 摘要：采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术，研制了一种硅基压电式有阀微泵，泵的外形 um～30um之f,q．通过大量试验测试， 尺寸为(14×14×3)mm3，泵腔体体积约20mm3，硅阀片厚度在25 分析了泵压与工作频率；流量与工作频率的关系。当工作电压为145V、频率为100Hz时，有阀微泵稳 定工作的泵压可达2m水柱高，最大流量13mL／min．分析认为：有阀微泵工作不稳定是由气穴现象造 成，引起气穴产生的主要因素有：工作频率，阀片结构，以及压电驱动元件． 关键词：MEMS微泵压电驱动性能分析 1．引言 作为微流动系统的核心部件，压电微泵具有体积小、结构简单、无电磁干扰、易于操作等优点，在化学 分析、医疗器械、小型部件清洗、粘接剂喷涂以及汽车发动机燃料供给等方面均可应用，因此它的研究倍受 w J．等人初次研制出了压电薄膜泵，到目前为止，根 世界各国学者的广泛关注。20世纪70年代，Spenser 据有无阀片，阀片结构、形状，已研制出多不同类型的压电薄膜微泵(以下简称压电泵)。当前，压电微泵在 应用方面还存在很多问题，如灌泵操作困难、再现性不好、可靠性低[1】；此外，有阀压电微泵还存在工作频 率过低，不利于获得较高的输出流量和压力。本文依据实验得到压电泵最佳工作频率；分析了压电微泵结构 参数对其性能的影响规律。 2．硅基压电微泵基本结构与工作原理 如图l所示，主要由泵体、压电膜片和阀片构成。 当压电膜片两面施加交流电压时，压电晶片在电场的 作用下产生弯曲变形，进而改变腔体容积。当压电振 子向上弯曲时，泵腔体积增大、腔内流体压力减小， 使进口阀打开、出口阀关闭，流体向腔内流动；相反， 压电振子向下弯曲时，泵腔体积减小、压力增加，进 口阀关闭、出口阀打开，流体从泵腔内排出。 ’ 图l微泵结构图 1．腔体；2阀片；3．压电片：4．铜片：5．硅6．入口；7．出口． 3．硅基压电微泵工艺制作 图2为制作有阀微泵的主要工艺流程，其中主要包括硅片的氧化、光刻、刻蚀、键合等。 图2工艺流程图 272 4．结构设计与性能分柝 4．1压电薄膜变形量 自由状态下(腔内无流体)，压电振子变形所引起的腔体变化量△y为 AV=—?lr‘c13—1UR (1) 一 2f2 式中 Y．一与压电振予尺寸、性能相关的无量纲参数；尺一压电振子半径；如。一压电常数；卜压电薄膜厚度； 驴一电压。 J。 对于圆形压电薄膜，当它和辅助材料的直径(压电泵腔体直径)之比为0．8时，可得到最大腔体变形量【l 设计中压电薄膜的直径为8mm，腔体直径为10mm。 4．2压电泵腔体高度 压电泵腔体容积为 环=积2H (2) 式中R—压电泵腔体直径：H—压电泵腔体高度。 选择合理的腔体高度，不仅可提高最佳工作频率，还可使其具有较强的自吸能力和抵抗气泡干扰的能力。 实际工作中，压电微泵腔体中的空气很难全部排出；另一方面，由于流体与空气接触，