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V引．29
第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 No．4
2008年4月 ChineseJoumalofScientificInstrument Apr．2008
微量电容法测量湿度的研究
姚振东1刘继海2
(1成都信息工程学院成都610225；2重庆西南集成电路设计有限责任公司重庆400060)
摘要很多场合需要长期稳定、高精度地测量湿度，无吸湿性介质电容湿度传感器有望解决这一问题。利
用空气平板电容器对空气湿度有一定敏感度的特性，结合电容．数字转换器AD7746高精度高分辨率稳定可
靠测景微量电容的优势，由超低功耗单片机MSP430构成了一个空气湿度测量实验系统。有限次数实验表
明，空气平板电容湿度传感器能够测量湿度，且动态范罔较宽。
关键词 电容传感器∑．△调制 电容一数字转换器(CDC)湿度测量
Sensor
HumidityMeasuringExperimentEmployingMicro—Capacitance
Yao LiuJihai2
Zhendon91
(1
ChengduUniversityofinformationTechnology,Chengdu,610225；
2Southwest
Integrated-circuitDesignCo．，Ltd,Chongqing,Chongqing,400060)
Abstract measurementwith term and isneededin
Humidity long stabilityhighaccuracy applications．
many
sensor dielectricwithoutmoisture bea solutionfor
Capacitivehumidityfilling absorptionmay good it．Depending
onthe characteristicof withair withthe
dielectric，and
humiditysensitivity parallelplatecapacitor combining
of converterAD7746witch at resolutionand
advantagecapacitance—to-digital operatinghighaccuracy,high high
when air measurement isbuilt
stabilltymeasuringmicro-capacitance，anhumidity experimentsystem byusing
ultra-low MSP430serials tothefinite is
results，it
powerconsumpt
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