溶胶-凝胶提拉法制备光导型日盲区紫外探测器.pdfVIP

第33卷 增刊3 稀有金属材料与工程 V01．33，Suppl．3 2004 2004年 12月 RAREMETAI，h懈ERIAI，SANDENGⅡ呵EER烈GDecember 溶胶一凝胶提拉法制备光导型日盲区紫外探测器 季振国，杜娟，范镓，王 玮，孙兰侠，何作鹏 (浙江大学硅材料国家重点实验室，杭州310027) 摘 、 、 上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器。实验结果表明，Ga203是很好的光导型日盲紫外探测材料之一。／ 关键词：溶胶凝胶；氧化镓；紫外探测器；日盲 文献标识码：A 中图法分类号：0434．12，0484．2，0614．37 均质溶液。将含InCl3的乙醇溶液按一定比例加入到 1 前 言 GaCl3溶胶中，得到初始溶液。 工作于日盲区的紫外探测器具有重要的应用前 实验采用溶胶凝胶提拉法在石英基片上制备薄 景，它可以应用在多个领域，如火箭和导弹尾焰探测、 膜。将一块清洁的基板浸到溶液中并以4cm／min的速 min，为了获得 高压输电线路上的电弧电晕探测，化学药品引起的火 度提拉，然后在100℃的烘箱中烘烤10 灾报警以及生物探测等【l~3】。目前用于日盲型紫外探测 具有一定厚度的薄膜，反复提拉多次，然后将薄膜样 h。 品在800℃下热处理2 器的半导体材料主要有Si，SiC以及AI，Gal。N等【4，5J。 硅基日盲型紫外探测器需要价格昂贵的滤光片，而且 用x光衍射仪(英国Bede plc公司的D1system)对 量子效率低，实际应用具有一定的局限性。与Si相比， 样品的晶体结构进行了测试，X射线源为CuKa，测试 SiC虽具有更大的禁带宽度，但它对太阳辐射仍然非 的衍射角为200至lJ600。用日立的Lambda20紫外．可见光 光度计对薄膜的透射谱进行了测试，并由此确定薄膜 常敏感，故也不是真正的日盲型材料。AlxGal斟系列 最为成熟，是制作太阳盲区紫外探测器的理想材料之 的禁带宽度。最后制作了1个光导型的氧化镓紫外探测 一，但存在制作方法复杂，生产成本高等缺点。 器，并对其光电响应进行了测定。 eV~5．15 氧化镓是1种禁带宽度为4．9 eV的宽禁 3结果与讨论 nm-253 带氧化物半导体，对应的吸收边位于240 am， nm～280 3．1 XRD分析 接近地球表面日盲区的下限(240 nm)，因此 是1种潜在的紫外探测材料[6-81。通过掺入适量的与镓 图1是在800℃经过2h热处理后的氧化镓和氧化 属同一主族元素的铟，可以获得禁带宽度可调的 铟镓薄膜的XRD谱。在氧化镓的XRD图谱中可以观 InxGa2。03