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一种激光功率能量测量仪表的设计 徐涛，于靖，李英娜 (中国计量科学研究院北京100013) 摘要：针对热电型长脉冲激光能量探测器和电校准激光能量标准器的测量要求，设计了基于单片机系统的 积分型测量显示仪表．仪表采用积分算法对输出信号进行处理，实现了热探测器冷却时间常数的计算，并 参与到积分运算中。仪表同时具有功率测量模式和峰值法能量测量模式．介绍了几种不同类型探测器输出 的特点，给出了相应的预放电路图。 关键词：激光；功率能量测量；仪表；积分型； 中图分类号：TB96 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：410．55 InstrumentforLaserPowerand Measurement Designed Energy XuTao，YuJing，LiYingna Institute (NationalofMetrology,Beijing10001iChina) Abstract：Aninstrumentfor laser detectorandelectriccalibrationlaser standard integral longpulse energy energy basedonmicro is is timeconstantof computerpresented．Outputsignaldisposedbyintegralarithmetic．Cooling thermaldetectorwillbe andbe intothe calculation．General modeand measurement got puaed integral power peak beoffered measurementmodewill too．Differentdetector’scharacteristicand circuits energy signal preamplifier al eintroduced． Keywords：laser；powerenergymeasurement；instrument；integral 1引言 激光功率、能量是描述激光特性的最基本参数。一般激光功率能量测量系统由探测器和显示仪表两部 型L引。不同类型探测器信号输出形式不同，需对预放电路进行调整以满足信号处理的要求。文中介绍了几 种类型探测器的输出形式，给出了相应的预放电路原理图及参数调整方法。传统的测量仪表为模拟式，实 现信号复杂处理的难度大，智能性差，不能实现与计算机系统的直接连接。随着单片机技术的不断发展， 数字仪表的应用越来越广泛，各种智能型的激光测量显示仪表相继面世。如相干公司的3sigma型，OPHIR 公司的Nova型，Gentec公司的SOLO 2型等。这些仪表都兼顾了功率测量和峰值能量测量的功能，具有便携、 易用的优点。然而，对于热电型长脉冲(s级)激光能量测量探测器和带有电校准量值复现功能的激光能量 标准器，为了提高光电等效性和消除脉宽带来的影响，要求按照一定的数学模型对信号做积分处理，并且 需要得到探测器冷却时间常数。时间常数将参与到能量运算中，同时对设计者分析探测器热传导性能等参 数有很大的帮助。为此我们设计了一款基于单片机系统的数字式仪表，实现了热探测器冷却时间常数的计 310 算，和信号的积分处理功能，同时具有功率和峰值能量测量模式。 2硬件设计 仪表的硬件组成见图l。首先对输入的信号进行预放处理，通过模拟开关进入多量程程控放大器。通过 AD转换将模拟信号数字化，进入单片机处理程序。