计量光栅测量技术研究.pdfVIP

维普资讯 专栏I勘察、测绘与测试技术 计量光栅测量技术研究 口刘广黔 摘 要：计量光栅形成的莫尔条纹对位移的光学放大作用，在位移精确测量领域有很高的工程价值。光栅线位 移传感器得到很大发展，成为该领域关键技术。 关键词：计量光栅 ：莫尔条纹 光学放大 光栅线位移传感器 引 言 莫尔条纹有对位移有很大的光学放大作用，非常适用于精密位 移测量。 计量光栅测量技术作为位移的精密计量技术，近年来随着 (4)误差的平均效应。光电元件所接收的是进入接收窗 口 信息技术和精密)3aT~J造技术的不断进步而获得长足的发展 ， 的刻线数的综合平均光信号，因此当光栅有局部或短周期误差 市场应用越来越广，促进了制造业和计量测试水平的相互提 6。时，由于有多根刻线参与工作，平均效应使误差△大为降 高。 低 ： 1计量光栅测量原理 △=±60，、／百 例如．5O线 ／mm 的光栅 ，用 f1Omm 的硅光 电池接收信 1．1计量光栅莫尔条纹 号，那么就有 500根线参与工作，硅光 电池的总输出是 500根 在透明或不透明的平面基底上 ，刻划(或照相 )密集的、等 线中的每一根线的输出总和。假定相邻刻线的栅距误差为 间距的平行线条，这就是光栅。由等距离的刻线构成的光学元 1um，则平均值 的误差仅为 0．05um，所 以用计量光栅 比较容易 件叫计量光栅。将两块栅距相同的光栅 以不大的交角重叠时， 地实现高精度测量。 可以看到明暗交替的莫尔条纹 [morefringe)。这种莫尔条纹可以 用粗光栅或细光栅来形成。栅距远大于波长的光栅叫粗光栅 ， 2 光栅线位移传感器 栅距稍小于或接近波长的光栅叫做细光栅。 2．1光栅线位移传感器的测量原理 下图所示为光栅莫尔条纹，主光栅的刻线与副光栅的刻线 理论上光栅测量位移时，只要计量出测量对象上某一个确 完全一样，是等距的。安装时主光栅的刻线与副光栅的刻线有 定点相对于光栅移过的刻线即可。实际上，由于刻线过密，直接 一 夹角(图中的 e)，这样在光标尺的垂直方向上就产生黑白相 对刻线计量难 以实现，因而通过对光栅的光栅条纹或相位干涉 问的莫尔条纹。莫尔条纹的取值如下： 条纹进行计数，间接测量相对移过的刻线。当指示光栅和标尺 B=