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37
610054
MFM TbFe
SPA-300HV MFM
AFMMFM
[1]MFM
[2]
SPA300HV MFM
Nanoworld MRMF
20nm
1a1b
80nm
1
TbFe trace 60nm
2a 2b
Amplitude.Rep 0.468 0.536 2
3 Amp.Rep 0.468
DI MF-3N
40umTrace 33b 3a 90
3a 90
3b
3a
38
a
b
1um
1 5um5um
a20nm (b) 80nm
a b
1
2
3
1um
2 TbFe 10um10um
a
b
10um
40um40um
(a)
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