振动式微机械陀螺的驱动模态地研究.pdfVIP

2004年第18卷增刊 测 试 技 术 学 报 V01．18 2004 Supp AND JOURNALoFTESTMEASUREMENTTECHNOLoGY 振动式微机械陀螺的驱动模态的研究 李锦明张文栋苏淑靖 (仪=}|}；科学与动态测试教育部重点实验室，牛北T学院I乜予科学’j技术系，太原030051) 摘要 奉义针对的足振动式微机械陀螺自动增益驱动模态的研究。通常的振动式微机械陀蝶的驱动模态采用交一 直流IU爪变化的办法米状取振幅信号，然后通过反馈去控制驱动【U压，从J『|：i达到恒I晤振荡的效果。奉文提IIlr一种 直接由交流信lj去控制驱动f乜J采的方法，这就避免r由交一直流l巳压变化造成的延时，达到实时自动增益控制的效果。 关键词 振动式微机械陀螺恒幅振荡驱动模态 1．介绍 近年来，振动式微机械陀螺由于其体积小、功耗低、价格便宜，已成功地应_l_}J于玩具遥控车、 数码照相、摄像机以及汽车安全控制系统中。现在普遍心_I_I』微机械陀螺绝大多数属于来回振动 而非绕川定轴旋转的，因此，在这里描述的来回振动的微机械陀螺。振动式微机械陀螺根据榆 测方法的不同可分为电容式振动微机械陀螺、乐阻式微机械陀螺和压电式微机械陀螺。电容式 微机械陀螺主要采刚硅材料作为振动质量块，这种振动式微机械陀螺在振动中阻力大，通常需 要进行真空封装实现低电压信号驱动和检测。压阻式微机械陀螺采删的敏感电阻值的材料有硅、 渡铝丝等，但由于技术不成熟，日前只是处于研究阶段。压电式微机械陀螺根据选择的材料口J 分为压电陶瓷陀螺和压电石英陀螺，这两种材料作成的陀螺具有很高的振动Q值，因此其根木 不需要象电容式微机械陀螺在真空封装下进行榆测和驱动，日前该技术比较成熟，开发出来的 陀螺性能稳定。 振动式微机械陀螺包括三大部分：驱动模态部分、榆测模态部分、信号解调部分。驱动模 态部分负责沿驱动轴微机械陀螺的恒幅振荡，其将影响陀螺的线性度和零漂。榆测模态部分负 责沿榆测轴信号的拾取，信弓解调部分负责相位敏感解调，最后输出角速率信口．。木文着熏针 对振动式微机械陀螺的驱动模念的研究。 控制是将交流信号经过全波整流，低通滤波，最后变成直流信号去调节静电驱动电爪。该方法 在进行低通滤波的时候通常需要外接大的电容，大的电容是很难集成在专川的ASIC里面的， 同时还存在一定的时延。木文提出了一种AC．AGC自动增益反馈控制的恒lI幅振荡电路，即采川 交流电压通过一个比较器，由比较器输出的信号去调节静电驱动电压从而达到恒幅振荡的A的， 该比较器上不需要接任何电容，故几乎不存在控制时延，真正起到实时恒幅控制的作J_Ij，对提 高陀螺的稳定起着重要的作用。 2．振动微机械陀螺恒幅振荡对陀螺的影响 振动式微机械陀螺是一种速率陀螺，其工作原理是在检测轴方向(女¨x轴)有一个质量块作 稳频恒幅振荡，当有一个绕z轴的Q角速率输入时，其将受到沿Y轴的哥氏力作Jl}J而产生位移， 该位移可产生电容的变化或电阻的变化或电荷的变化等，根据检测该变化量就能解调出速率的 变化。哥氏力凡的计算公式如下： Fc=-2mr2XV (1) 其中：m；振动块的质昔；Q：输入的角速率：v：振动质量块的速度。其中振动质量块的速度由下 +收稿H期：2004．04．12 220 测试技术学搬 2004年6t『_] 列公式决定。(v=j醢) 即船字．＆+h=啊s(叫) (2) 动的品质因子。根据公式(2)，可求得振动的位移工(f)公式如下： x(t)=X·cos(oJd·卜一0) 进一步可求得振幅和相位如。F 只 X=