物像远心成像光路在高精度视觉检测中的应用.pdfVIP

998匀辩12巷第3期 测试技术学搬 Ⅶ112No3 1998 物像远心成像光路在高精度视觉检测中的应用 王向军三风华周鑫玲 (天津大学精密仪器及光电子工程学院300072) 摘 要 本文讨论了一种可实用的物象绍合远心成象光学系统和原理．以及相关的 CCD测量系统。通过在物象远心光路的重合焦点处进行适当的滤波，可以获得视角和 放大率在祝场备点恒定的光学特性。该方法适合于在一个测量视场的多测量面不重合 问题，以及测量对象的相对位置实时变化等视觉测量问题。本文对该物像远心成象光 学系统进行了详细的理论分析，并给出了实际测试结果。 关键词 光电检测；CCD应用；视觉检测 1、概述 利用光电或视觉测量方法对目标物体的形位参数进行高精度非接触检测时，往往 由于采用的光学成像系统带来的误差而使测量结果的精度无法提高和给数据处理带 来很大的难度，因为通常的成像镜头不能准确地描述那些偏离透镜光轴或镜头焦距的 物体。视角偏差和制造误差是镜头通常所固有的。随着精密机器视觉和相关检测技术 的笈展．对光学成象系统和测量镜头提出了更高的要求。采用物象组合远心成象光学 系统，可以获得一个视角和放大率在视场各点恒定，从而有效地改善精密测量系统的 光学成像质量。在精密机器视觉检测中，它可以省去复杂的实时自动调焦系统，减少 软件处理工作的复杂性，能够很好地克服被测物体影像虚焦而产生的测量误差，特别 适合于测量面不重台或轴向动态的被测物体。该方法已在核电关键设备的检测中得到 了实际应用。 2、物像远心成像系统的原理 一般远心光路可分为物方远心光路和像方远心光路两种。在物方远心光路中，孔 径光阑设在物镜的像方焦平面上，光阑也是出射光瞳，如图1所示，入射光瞳位于物 方无限远处。 平行下光轴的物方主光线经物镜射出后都通过光阑中心所在的像方焦点。如果物 l塑．—— 捌丛拄查堂．攫————』塑坠笙莹土越 与光电器件接收面不重合，而在光电器件上得到的是Bl’和B2’点的投影像，为一弥 M1 散斑，虽然物体上同一点发出光束的主光线不随物体位置的移动而变化。光电器件接 收面上的弥散斑中心仍是M1和M2点，但观察时很难准确找到M1和M2点，因此 会给测量带来误差。像方远心光路也是如此。 随着精密机器视觉和相关检测技术的发展，特别是现代测量中，被测物体是运动 的，位置实时变化，上述通常的远心光路也会给测量带来不可接受的误差。我们采用 了一种物像远心成像光学系统，可以很好地克服被测物体影像虚焦而产生的测量误 差，提高测量精度。如图2所示： 、LZ Bl Ml ● B1——一 二；7一匆 f 2y §娩tr ， 1． ～ B2 ．B2-l 。 凳， r 、 M2 、 、 ，、 7[ x，： 图-2物像远心光路 该系统由物镜L1和L2组成，Ll的像方焦点与L2的物方焦点重合，光学间隔 为0，因此平行光射入物镜L1后．仍以平行光从L2射出。光阑P设在两个物镜的 公共焦点F处，并且入射光瞳与出射光瞳重合。物体Bl(或B2)位于CCD光电器 件接受面的共轭位置时，经光学系统成像，CCD光电器件接收面上的像长为MlM2。 如果物体沿光