微机电系统中的粗糙面效应.pdfVIP

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裹1内绝缘子温度试验数据 烙铁型号 加热时同 内绝缘子温度 WSD8l 20s l呲 烙铁设置温度 30B 110℃ 380℃ 40s 120℃ 测试仪器 50B 131℃ 咖KE54Ⅱ 60s 140℃ 根据上述分析、验证,确定了焊接工艺参数:烙铁设置温度380℃,采用低温焊料:DHLl43(熔点 143。C),焊接时间不超过30s,同一个SMA头两端的焊接间隔时间不少于lOs。 5结束语 通过同轴插头SMA外壳体尾部外壁上已有的两个西1.5工艺孔,把同轴插头的外壳体与衬套焊接牢 固,不仅确保电缆组件具有良好的电气连续性,而且还可以保证安装在同轴插头外壳体内的各个零件(包 括电缆)轴向位置稳定,使同轴电缆组件在结构和电气方面都具有更好的稳定性和可靠性。 作者简介:张树彩,女,项士。高级工程师。主要从事质量工程工作。584654191@qq.com 微机电系统中的粗糙面效应 方文啸黄钦文刘 欣 (工业和信息化部电子第五研究所,广州,510610) 摘,要微机电系统(MEMS)中的租糙面可能会导致MEMS中出现机械性能、电学性能以及光学性能方 面的质量可靠性出现偏差,本文对这个领域的研究状况作了综述,并进一步介绍了本小组在该领域上的研究 进展。 Effectsofthe surfacein rough Electro System FANG Xin Wen-xiao,HUANG Qin-wen,LIU (CEPREI,Guangzhou510610,China) s血einMicro--Mechanical-Electro Catlse Abstract:The rough System(MEMS)could deflectionofthe and inthe ofmechanics,electronics,and qualityreliabilityaspects optics.In this researchesontheeffectsofthe surfacein article,we rough MEMS,and review.the introduce inshorL our咖dy ●●●L-●-- 1 刖吾 随着微加工艺的进步,人们已经能够制造出越来越小的机械和电学设备,其尺度甚至达到了纳米量 级。比如美国佐治亚大学王中林小组所制的纳米发电机fI等等。随着环境和能源问题日益受到关注,这种 加工制造能力以其独特的低能耗等特性将渗透到人们生活的每个角落。带来一场比工业革命更加令人期待 的技术变革。尽管目前不少尖端技术仍然只是存在于实验室,但大部分人看好微机电系统 MEMS)技术的应用前景。 (Micro-Mechani

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